原子間力顕微鏡 (AFM) の基礎と解析のポイント

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本セミナーでは、AFMの基礎から原理を説明するとともに、AFMの勘所をわかりやすく解説いたします。

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原子間力顕微鏡 (AFM) はナノスケール〜原子スケールという極めて高い分解能を持つ顕微鏡です。また、試料の構造だけでなく、さまざまな力学・電子物性の分布を同時に描像することができます。これらの特徴は、さまざまな材料開発にきわめて有用です。しかし、AFMには多様な動作モードがあり、またそのセンサ (カンチレバー) にも様々なものがあるため、初心者にはなかなか手を出しづらいというのも事実です。  本セミナーでは、AFMの基礎から原理を説明するとともに、初心者から中級者を対象にAFMの勘所をわかりやすく解説します。

  1. 原子間力顕微鏡 (AFM) の原理
    1. 走査プローブ顕微鏡 (SPM) :AFMとその仲間
    2. AFMの仕組み
    3. AFMの動作モードとカンチレバーの選び方
    4. AFMでできること、苦手なこと
  2. AFMの基本:表面の構造を見る
    1. 表面の科学:表面はどれくらいで汚れるか?
    2. 大気中AFM
    3. 真空中AFM
    4. 液中AFM
  3. AFMによる応用計測
    1. 導電性分布計測
      • Conductive AFM
    2. 電位・容量分布計測
      • ケルビンプローブ顕微鏡
      • 容量顕微鏡
    3. 力学物性 (粘弾性) 分布計測

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