大気圧プラズマによる表面改質と界面評価

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本セミナーでは、大気圧プラズマの基礎・原理から、大気圧プラズマの使用方法、運用方法、品質管理方法、応用技術までわかりやすく解説いたします。

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プログラム

第1部 大気圧プラズマの基礎と難接着フィルム・基材表面処理への応用展開

(2025年5月28日 10:30〜14:15)

 本セミナーでは、はじめに大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎について実例をあげわかりやすく解説します。次に講師が開発した大気圧プラズマ複合表面処理プロセスの基礎と産業応用例を、分野の最新動向を交えながらわかりやすく解説します。事例として、樹脂、ガラス、ポリマーなどのプラズマ表面処理を選択解説し、受講後、類似の開発を直ちに始めることができるような具体的情報を提供します。

  1. 大気圧プラズマ発生法の基礎知識
    1. 大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎
      1. 大気圧プラズマと発生法
      2. プラズマとは?
      3. プラズマの種類
      4. パルス放電方式
      5. 無声放電方式 (誘電体バリア放電方式)
      6. オゾン発生装置
      7. 電流電圧電力波形
      8. 沿面放電方式
      9. 高周波プラズマ方式
      10. プラズマジェット電極
      11. コロナ放電プラズマ装置と電子回路
      12. その他各種プラズマジェットとプラズマ医療
  2. 大気圧プラズマ表面処理の産業応用技術
    1. 大気圧プラズマ複合プロセスによるフッ素樹脂フィルムの接着性向上技術
      1. フッ素樹脂の特性
      2. プラズマグラフト重合とは
      3. フッ素樹脂フィルム処理の実験装置と実験条件
      4. 接触角による親水性評価
      5. 剥離試験による接着性評価
      6. ESCA (XPS) による表面分析評価
      7. FT-IRによる表面分析評価
      8. 電子顕微鏡による表面写真撮影
      9. 従来技術 (ナトリウム-アンモニア処理等) との比較
      10. テフロン表面へのめっき (プラズマ複合めっき処理)
      11. 大面積処理装置の実現
      12. テフロン上めっきのフォトリソグラフィによる微細加工
      13. A4コロナ表面処理のデモンストレーション <試作サンプル紹介>
    2. 大気圧プラズマジェットと医療への応用、殺菌技術
      1. 医療への応用例
      2. プラズマ照射装置のその他応用 (低温殺菌技術など)
      3. 低温プラズマ殺菌の試験結果
    3. 大気圧プラズマ複合プロセスによるガラス表面およびポリマー表面の恒久的処理技術
      1. 自動車のフロントガラスやサイドミラーの水滴除去
      2. ガラス表面の改質装置
      3. プラズマのみを照射した場合 (親水性向上)
      4. プラズマ・ケミカル複合プロセスによる恒久的はっ水処理
      5. 恒久的表面処理のメカニズムについて
      6. フッ素樹脂フィルム上有機EL膜の発光特性* 質疑応答

第2部 大気圧プラズマ、VUV処理による表面改質技術

(2025年5月28日 14:30〜16:00)

  1. 難接着材に対する表面改質・密着力向上技術の動向
  2. 大気圧プラズマによる表面改質方法
    1. 大気圧プラズマについて
    2. 大気圧プラズマの原理
    3. 大気圧プラズマの応用用途
    4. 大気圧プラズマを用いた表面改質技術
  3. エキシマランプを用いた光反応による表面改質方法
    1. エキシマランプについて
    2. エキシマランプの発光原理
    3. エキシマランプの応用用途
    4. エキシマ光 (VUV) を用いた表面改質技術
    5. 低圧水銀ランプUVとエキシマランプVUVの比較
  4. 改質表面の分析手法と密着強度評価方法
    1. 表面分析によるキャラクタリゼーション
    2. 剥離試験による密着性評価方法
    3. 密着界面の評価方法
  5. 代表的な樹脂素材への密着強度改善事例の紹介

第3部 プラズマインジケータの紹介と大気圧プラズマ処理効果の評価

(2025年5月28日 14:30〜16:00)

 プラズマインジケータは、プラズマ中のラジカルやイオンで変色する色材を用いた評価ツールです。装置内に置くだけで、プラズマの処理効果を可視化できます。簡便に工程のバラつきや面内分布を評価でき、生産性向上やトラブルシューティングに役立ちます。大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を有するので、プリント配線板製造/FPD製造/フィルム加工など、大面積の大気圧プラズマ処理のチェックに適しています。  本講座では、プラズマインジケータの基礎原理から、その基本性能、さらに評価事例を紹介します。

  1. はじめに
    • 会社概要
    • 機能性色材について
  2. プラズマインジケータの概要・基礎原理
  3. プラズマインジケータ大気圧プラズマ用の基本性能
  4. プラズマインジケータの大気圧プラズマ処理評価事例
  5. まとめ

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