本セミナーでは、現場で役立つクリーンルームの維持管理とゴミ・異物対策、および局所クリーン環境構築の基礎から実践ノウハウをわかりやすく解説いたします。
「クリーンルームは管理無ければ只の箱」と言われます。その管理の基本『クリーン化の四原則』を明確にし、対象となるエリア「加工点」「保管場所」「搬送系」の3点を対象に、清掃を含めて、いかに効率的にかつ効果的な管理を行うのかを、いくつかあるクリーンルームの形態毎に、不良につながる可能性状態を動画や写真でご紹介し、効果的な管理につながる手法を明らかにして行きます。
これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。またパーティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。5〜10〜100μmと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法、数値管理方法を述べて参ります。 また、近年導入が加速し、注目されている局所クリーン環境の構築について、その環境の良否を決め手となる気流管理のありかた、評価方法についてもお話します。現場に戻り即役立つ情報・技術・管理手法等を分かりやすく解説致します。ご質問や疑問点があるときは、質疑応答時間若しくは 終了後メールにてお寄せください。多くのご質問をお待ちしております。一緒に考えて解決していきましょう。
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