第1部 半導体製造におけるプロセスインフォマティクス – 製造条件の全体最適化に向けた最新技術 -
(2025年4月25日 10:30〜12:00)
製造会社にプロセスインフォマティクスを用いた製造条件最適化ソリューションを提供しているアイクリスタルだからこそ、多くの成功例や失敗例があります。本講演を通じて、プロセスインフォマティクスの基礎や定石、最新動向を知ることができます。
- プロセスインフォマティクスの概要
- プロセスインフォマティクスによる製造工程の最適化
- シミュレーションベースのデジタルツインによる最適化
- 実験ベースのデジタルツインを用いた適応的実験計画
- 製造 (量産) 時のデータを用いたプロセス異常検知
- 半導体製造におけるデジタルツインとプロセスインフォマティクス
- 半導体結晶成長プロセスの最適化
- 半導体の薄膜成長プロセスの最適化
- 成膜条件の自律探索
- 多数の製造工程のデジタルツインとプロセスインフォマティクスの最新動向
第2部 ニューラルネットワークを用いたAIによる知能研磨システム
(2025年4月25日 13:00〜14:30)
CMPでは副資材として、スラリー、パッド、コンディショナが用いられます。それらは、もちろん独立した副資材ではありますが、研磨プロセス全体を俯瞰してみるとき、大きく相互依存していることをご理解頂けるか、と思います。したがって、それぞれの副資材の部分最適を試みるよりも、全体最適を常に意識することの必要性にお気づき頂けるかと思います。全体最適を意識されるとき、AIの利用が効果的です。まったくバラバラに見えるデータもAIによって適切に処理すれば、新しい解が得られます。とりわけ、母性原理に従わないとされる研磨プロセスの知能化を図る上で、本講座への参加は効果的なものと考えます。リラックスされながら聴講して頂けますと幸いです。
- パッドの役割
- パッドのアスペリティが研磨 (特に研磨速度) にどのような影響を及ぼすか
- アスペリティの評価手法
- 単回帰データ分析
- 研磨速度にパッドのアスペリティがどのように影響しているか
- 単回帰分析の限界
- AIの導入
- さまざまな条件や結果を一覧に整理し,AIによって解析すると何が見えてくるか
- AI解析によって何が実現可能になるか
- 重回帰分析による研磨情報の分析
第3部 データ駆動プラズマ科学と半導体プロセス
(2025年4月25日 14:45〜16:15)
半導体製造プロセス、特に、プラズマプロセスへのデータ駆動科学の応用の概要と現状について議論する。半導体プロセスおよびプラズマプロセスの基礎から解説するので、これからプラズマプロセスを学ぼうとする、この分野の初心者にも、概要が伝わりやすい講義を目指す。
- プラズマプロセス概要
- 反応性イオンエッチング (RIE) ・プラズマ支援CVD
- 原子層堆積 (ALD) ・原子層エッチング (ALE) プロセス
- プラズマ計測とプロセス制御
- データ駆動プラズマ科学の応用
- プロセス数値シミュレーションとTCAD (Technical Computer Aided Design)
- 仮想計測 (VM) とプロセス制御
- マテリアルズ・インフォマティクス
- プロセス開発における機械学習 (ML) ・人工知能 (AI) の活用
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 50,000円(税別) / 55,000円(税込) で受講いただけます。
- 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 55,000円(税別) / 60,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)
- 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 200,000円(税別) / 220,000円(税込)
- 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 230,000円(税別) / 253,000円(税込)
- 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 他の割引は併用できません。
アカデミック割引
- 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
- 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
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