本セミナーでは、リソグラフィの基礎知識・最新技術、レジスト材料・微細加工用材料の基礎、微細加工用材料の特性、レジスト材料・微細加工用材料の課題・対策、レジスト材料の最新技術・ビジネス動向まで、具体的に分かりやすく解説いたします。
日時
- 2025年2月6日 10時00分〜 2025年2月6日 16時00分
開催予定
プログラム
本講演では、リソグラフィの基礎を解説した後、デバイスの微細化を支えるレジストの基礎をEUVレジスト (化学増幅型EUVレジスト、EUVネガレジストプロセス、EUVメタルレジスト、EUVメタルドライレジストプロセス) の詳細を含めて述べます。 レジスト・微細加工用材料のトラブル対策をその要求特性、課題をふまえて解説します。EUVレジストの課題と対策についても述べます。最後に最新のロードマップと先端デバイスの動向を解説し、今後のレジスト・微細加工用材料の技術展望、市場動向についてまとめます。
- リソグラフィの基礎
- 露光
- 照明方法
- 輪帯照明
- マスク
- 位相シフトマスク
- 光近接効果補正 (OPC)
- マスクエラーファクター (MEF)
- レジストの基礎
- 溶解阻害型レジスト
- g線レジスト
- i線レジスト
- 化学増幅型レジスト
- KrFレジスト
- ArFレジスト
- ArF液浸レジスト/トップコート
- EUVレジスト
- 化学増幅型EUVレジスト
- EUVネガレジストプロセス
- EUVメタルレジスト
- EUVメタルドライレジストプロセス
- 溶解阻害型レジスト
- レジスト・微細加工用材料のトラブル対策
- レジストパターン形成不良への対応
- パターン倒れ
- パターン密着性不良
- パターン形状不良
- チップ内のパターン均一性不良
- 化学増幅型レジストのトラブル対策
- レジスト材料の安定性
- パターン形成時の基板からの影響
- パターン形成時の大気からの影響
- ArF液浸レジストのトラブル対策
- ダブルパターニング、マルチパターニングのトラブル対策
- リソーエッチ (LE) プロセス用材料
- セルフアラインド (SA) プロセス用材料
- EUVレジストの課題と対策
- 感度/解像度/ラフネスのトレードオフ
- ランダム欠陥 (Stochastic Effects)
- 自己組織化 (DSA) リソグラフィのトラブル対策
- グラフォエピタキシー用材料
- ケミカルエピタキシー用材料
- ナノインプリントリソグラフィのトラブル対策
- 加圧方式ナノインプリントリソグラフィ
- 光硬化方式ナノインプリントリソグラフィ
- レジストパターン形成不良への対応
- 最新のロードマップと先端デバイスの動向
- レジスト・微細加工用材料の技術展望、市場動向
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 複数名: 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
複数名同時申込割引について
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)
テキスト送付に係る配送料
ライブ配信・アーカイブ配信受講の場合、別途テキストの送付先1件につき、配送料 1,100円(税別) / 1,210円(税込) を頂戴します。
ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー
- 「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
ライブ配信セミナーをご希望の場合
- セミナー資料は、郵送にて前日までにお送りいたします。
- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。 - Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
アーカイブ配信セミナーをご希望の場合
- 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
- 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
- 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
- アーカイブ配信の視聴期間は2025年2月13日〜19日を予定しております。
ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。 - セミナー資料は別途、送付いたします。