クリーンルーム維持管理の基礎および異物管理と静電気対策の具体例

クリーンルームの清浄度維持には、壁や床、空調や設備などのハード面の管理と作業員やその作業ルールなどのソフト面の両方を抑えなければならない。 特に後者は、まとまった教科書もなく、各社とも「自社の管理手法は、これで正しいのだろうか?」という不安が拭い切れないのが実情である。 　本講座では、ハード面での対策、作業員の守るべきルールやその理由を発塵量比較データに基づいて、クリーンルームの維持管理手法について科学的かつ平易に解説する。並びに静電気の本質を科学的に紐解き、具体的な対策について解説する。

1. クリーン化、異物対策の基礎知識
   1. クリーン化の目的
   2. クリーンルームとは何か?目的と構造の基本
   3. クリーンルーム内でのゴミとは?
      • 浮遊ゴミ
      • 沈降ゴミ
      • 菌類
      • バクテリア
   4. クリーン化対策の基本
   5. 発塵のイメージとその意味
   6. 発塵や落下付着の基礎科学
      • 接触転移
      • 堆積付着
      • 落下時間
      • 塵埃の移動距離
   7. ゴミの種類と見極め方
2. 人や身近な発塵源の解説と対策
   1. 人からの発塵
      1. フケ、アカ、汗、角質
      2. 作業服の脱着時の発塵
      3. 人の動作、持込品に関する発塵量の比較
         • 手洗い前と手洗い後の比較
         • 帳簿類からの発塵
         • 歩行による発塵
         • 清掃方法・清掃用具の効果の比較
         • 無塵衣・手袋・靴からの発塵
         • 持込品による比較
   2. 機械、ケーブル等機材側からの発塵
3. クリーンルームにおけるゴミのクセ
   1. 何故、人体や製品にくっつくのか? (付着のメカニズム)
   2. どこに溜まり易いのか?
4. 静電気の存在とクリーンルーム内における静電気対策
   1. 静電気はなぜ起きる、そのメカニズム
   2. イオナイザー使用のメリット、デメリット
5. 作業員管理の基本原則とその共有の仕方
   1. ゴミを持込ませない
      • 健康状態や化粧品などの衛生管理
      • 所持品管理
      • 入室前手洗い
      • エアーシャワー
   2. ゴミを発生させない
      • 無塵服
      • 動作ルール
      • 持込品制限
   3. ゴミを堆積・付着させない
      • 防塵カバーの使用
      • 製品と備品における距離や高さ動線の見直し
   4. ゴミは速やかに排除する
      • ゴミ捨ての方式
      • 清掃方法
      • 頻度の見直し
6. クリーンルーム内での注意事項、維持管理に向けたポイント
   1. クリーンルーム用衣服 (無塵衣) やマスク・靴の着用の仕方
      1. 無塵衣による発塵抑制の効果予測
      2. 着替え時の注意点
      3. クリーニングの注意点
      4. トラブル対策:急に破れてしまったら?
   2. クリーンルーム内におけるふるまいの注意点
      • 気流と作業者の位置関係
      • 不要な私語・動作の禁止
      • 無塵紙などの認定品使用の徹底
      • 着衣のルール
      • ゆっくりと歩く、動く
      • 汚れたものに手を触れない
      • 喫煙後のルール
      • 静電気対策
   3. 設備・装置と清掃の注意点
      • ゴミの溜まり難い構造
      • 掃除しやすい配置
      • 床置きはしない
      • 修理やメンテナンスには特に注意
   4. 物品の搬入搬出や指定業者の入退室での注意点
7. 清掃の習慣化と見える化機器の活用
• 質疑応答