大気圧プラズマを用いた表面処理の基礎と濡れ性改善

材料表面の洗浄効果または材料同士の接着性の向上には、表面の「濡れ性改善」が必要である。 　本講演では、濡れ性の基礎から大気圧プラズマを中心とした表面処理技術について原理を含め解説する。 現在、大気圧プラズマでは「強い」プラズマが主に利用されているが、ここではラジカルや紫外光を利用した「穏やかな反応」による表面処理装置・方法を提案する。

1. 濡れ性の要因
   1. 表面エネルギーと濡れ性
   2. 濡れ性の向上方法
   3. 濡れ性の測定方法
2. 大気圧プラズマ装置
   1. プラズマとは
   2. 大気圧プラズマ表面処理装置の種類と特徴
   3. 大気圧プラズマ装置の応用例
3. 大気圧リモートプラズマ処理によるガラス基板の濡れ性の向上
   1. 実験方法
   2. 実験結果 処理効果について
   3. メカニズムの検討
   4. 大面積処理への対応
   5. 装置の耐久性
4. 大気圧プラズマ処理等による高分子フィルムの濡れ性の向上
   1. 実験方法
   2. 実験結果 ポリイミド・テフロン
   3. メカニズムの検討
   4. 接着性との関連
   5. 今後の課題
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