PFAS規制の動向と半導体産業へ影響

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本セミナーでは、半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物 (PFAS) について取り上げ、PFASに関連する規制、現在の対応状況、今後の展開について詳解いたします。
また、半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向についても解説いたします。

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プログラム

有機フッ素化合物 (PFAS) の規制がますます強まっており、一般のニュースでも目にすることが多くなった。  本セミナーでは、PFASとはどういう物質で、どのような性質を持ち、なぜ規制されるのかについて解説する。また、ストックホルム条約 (POPs条約) および各国の規制動向についても解説する。半導体製造にも様々な工程でPFASが用いられている。それぞれの工程の内容となぜPFASが用いられているかを解説する。また、強まる規制に対して、装置・材料メーカーやデバイスメーカーが、どのように対応が行われているかについても述べる。

  1. PFASとは
    1. PFAS関連のニュース
    2. PFASの種類と性質
    3. PFASの用途
  2. PFAS規制の動向
    1. POPs条約
    2. 日本の規制動向
    3. 欧州の規制動向
    4. 米国の規制動向
  3. 半導体製造におけるPFAS使用工程 (前工程)
    1. 半導体製造方法 (前工程) の基礎
    2. リソグラフィー
    3. ウエットエッチング
    4. ドライエッチング
    5. 配管材料等
  4. 半導体製造におけるPFAS使用工程 (後工程)
    1. 半導体製造方法 (前工程) の基礎
    2. テープ・フィルム類
    3. モールド材
    4. 基板層間膜
  5. PFAS処理と代替材料の動向
    1. 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
    2. 廃液処理の現状
    3. PFASの分析方法
    4. 代替材料開発動向
    5. 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況
  6. まとめ
    • 質疑応答

受講料

  • 1名様: 32,400円(税別) / 35,640円(税込)
  • 複数名: 22,500円(税別) / 24,750円(税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 32,400円(税別) / 35,640円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

オンデマンドセミナーの留意点

  • 申込み後、すぐに視聴可能なため、本セミナーのキャンセルは承りかねます。 予めご了承ください。
  • 録画セミナーの動画をお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 視聴テスト にて動作確認をお願いいたします。
  • 3営業日後までに、メールをお送りいたします。
  • 視聴期間は申込日より10営業日の間です。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • 動画視聴・インターネット環境をご確認ください
    • セキュリティの設定や、動作環境によってはご視聴いただけない場合がございます。
    • サンプル動画が閲覧できるかを事前にご確認いただいたうえで、お申し込みください。
  • 本セミナーの録音・撮影、複製は固くお断りいたします。
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