大気圧プラズマは、減圧プラズマに代わる新たなプラズマ源として国内外を問わず活発に研究されてきた。例えば、誘電体バリア放電 (Dielectric Barrier Discharge: DBD) に代表されるように、大面積かつ安定なプラズマ源が開発・利用されつつある。このようなプラズマ源を応用すれば、低温かつ高能率なプロセスが実現可能になるだけでなく、使用する原料ガスが大気中で安定かつ安全であれば高価な真空排気系も不要となり、装置を大型化し易いなど、デバイス製造コストの削減に関してもメリットは大きい。そのため、成膜用ガラス基板表面のクリーニング、樹脂基板の表面改質によるぬれ性、付着力、接着性能の改善など、表面処理プロセスへの応用が活発に行われている。
一方、薄膜形成 (プラズマCVD) に関する研究動向としては、大気開放系での低温・低コスト成膜法を目指した開発が中心となっており、酸化物系薄膜 (SiO2、TiO2、ZnO等) や炭素系薄膜 (非晶質C、DLC等) 等の研究が報告されている。しかし、大気圧プラズマの本来の特性を積極的に利用すれば、例えばSiのような電気特性が重要視される機能薄膜の低温・高能率形成への応用も十分に期待できる。この観点から、我々は、150 MHzの超高周波 (VHF) による安定・均一な大気圧プラズマ生成技術開発とSi系機能薄膜の低温・高能率形成への応用に関する研究を進めてきた。
本講演では、我々が開発してきた大気圧PECVD技術について、一般的な減圧プラズマCVDとの比較を交えて説明するとともに、これまでに得られている研究成果の一端を紹介する。
- プラズマ生成の基礎知識
- 一般的な薄膜作製法とプラズマの役割
- 薄膜の成長プロセスについて
- 減圧下における高密度プラズマプロセス
- 一般的な大気圧プラズマプロセス
- 超高周波 (VHF) 励起大気圧プラズマの特徴と性質
- VHF励起大気圧プラズマを用いた機能性薄膜の形成例
- Si薄膜
- SiC薄膜
- SiNx薄膜
- SiO2薄膜
- その他
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
- 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 他の割引は併用できません。
アカデミック割引
- 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
- 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
- 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。