知っておくべきクリーンルームの基礎知識

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本セミナーでは、初めてクリーンルームに携わる方のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説いたします。

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プログラム

クリーンルーム技術の発展は、半導体製造用クリーンルームが牽引してきたといっても過言ではなく、これまで様々な汚染問題の検証や技術の開発がなされてきました。これらは、先人達が苦労して築き上げてきたものであり、論文や書籍等で伺い知る事ができます。一方、クリーンルームは様々な産業で使用されるようになってきているものの、各社でクリーン化を担当している方々におかれては、クリーンルームの基本的な維持管理など、相談する相手がいなかったり、先に述べた論文・書籍等を知らなかったり、様々な点で苦労していることが多いと思われます。  本セミナーは、初めてクリーンルームに携わる人のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説する予定です。つきましては、日頃の業務に役立てて頂きたく、ぜひ本セミナーにご参加下さいますよう、お願い申し上げます。

  1. はじめに
  2. クリーンルームの概要
    1. クリーンルームとは
    2. 粒子の挙動と捕集理論
    3. エアフィルタの概要
    4. 非一方向流と一方向流の違い (動画による比較)
    5. クリーンルームの指針や規格
    6. 清浄度の決定・計算方法
  3. クリーンルームの気流制御・局所化
    1. 清浄度に影響を与える要因
    2. 気流制御の要点 (動画による解説)
    3. 局所化の基本と実施例
  4. クリーンルームの維持管理
    1. 維持管理の概要
    2. 室内発生源
      • 作業者からの発塵など動画やデータで説明します
    3. 清浄度管理
      • 衣服の管理
      • 清掃方法
      • モニタリング時の注意事項など
    4. 特殊機器 (イオナイザー) からの発塵と対策
  5. クリーンルームあれこれ
    1. 計画時の留意点
    2. 回復試験とは (ISO14644-3)
    3. よくある失敗例
    4. ソリューション事例
      • ワースポイントの推定
      • 清浄度測定システム
      • リーク試験システムなど

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