本講座では、最近注目されているドライプラズマプロセスについて、低圧から大気圧までの各種プラズマの生成方法から、それらのプラズマを用いた各種基材の表面処理技術の基礎と応用、および評価法について、分かりやすく解説する。
- プラズマの生成と制御
- プラズマの基本的性質
- プラズマ生成技術 – 低圧力から大気圧まで -
- プラズマを用いた表面処理技術
- エッチング
- アッシング
- プラズマCVD
- ダイヤモンドライクカーボン薄膜
- カーボンナノチューブ
- プラズマ表面改質
- 官能基修飾 (親水性、撥水性など)
- 密着性 バイオ高分子の固定化
- プラズマ重合
- 低圧力マイクロ波放電を用いた表面プロセス
- マイクロ波プラズマについて
- マイクロ波プラズマ実験装置
- 表面波プラズマを用いた表面プロセスの例
- 体積波プラズマを用いた表面プロセスの例
- 大気圧プラズマを用いた表面プロセス
- 大気圧放電プラズマについて
- 誘電体バリア放電
- 大気圧プラズマジェット
- 誘電体バリア放電を用いた表面プロセスの例
- 大気圧プラズマジェットを用いた表面プロセスの例
- 表面評価法と測定例
- XPS
- AFM
- SEM/TEM
- ラマン分光
- XRD
- まとめと今後の課題