MEMS技術入門講座 (2日目 / 応用編)

再開催を依頼する / 関連するセミナー・出版物を探す
オンライン 開催

日時

開催予定

プログラム

半導体集積回路は多数のトランジスタで高度な情報処理を行うことができますが、センサやアクチュエータなどの異なる要素を融合することでさらに高度な機能を持たせることができます。 　このMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、システムの鍵を握る要素として使われ付加価値は高いのですが、多様で品種ごとに異なるため開発には多様な知識や試作設備へのアクセスなどのオープンコラボレーションが不可欠になります。 　本講義では、MEMSがどのように使われているか、またその製作のためのプロセス、要素技術やコラボレーションのありかたなどについて解説します。

1日目 MEMS技術入門講座: 基礎編

(20204年7月23日 10:30〜16:30)

  1. MEMSの使われ方
    1. 概論
    2. 自動車・スマートホンなどで使われる (量産) MEMS
    3. IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる (量産・高付加価値) MEMS
    4. インフラ・安全・環境、製造・検査などで使われる (高付加価値) MEMS
  2. 基本プロセス
    1. 基本プロセス1
      • パターニング
      • エッチング
    2. 基本プロセス2
      • 堆積と応力制御
      • 接合

2日目 MEMS技術入門講座: 応用編

(2024年7月24日 10:30〜16:30)

  1. 組合せプロセス
    1. 組合せプロセス1
      • バルクマイクロマシニング
      • 表面マイクロマシニング
      • ナノマシニング
    2. 組合せプロセス2
      • ウェハ転写とヘテロ集積化
      • 電気的接続
      • パッケージングと真空封止
  2. MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
    1. ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗物語
    2. MEMSの要素
      • センサ
      • アクチュエータ
      • エネルギ源
    3. MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他

受講料

案内割引・複数名同時申込割引について

R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。

「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。

2日間コースのお申込み

割引対象セミナー

アーカイブ配信セミナー