MEMS技術入門講座 (2日目 / 応用編)

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プログラム

  1. 組合せプロセス
    1. 組合せプロセス1
      • バルクマイクロマシニング
      • 表面マイクロマシニング
      • ナノマシニング
    2. 組合せプロセス2
      • ウェハ転写とヘテロ集積化
      • 電気的接続
      • パッケージングと真空封止
  2. MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
    1. ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗物語
    2. MEMSの要素
      • センサ
      • アクチュエータ
      • エネルギ源
    3. MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他

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複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。

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