MEMS技術入門講座:基礎から応用技術・最新動向まで

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半導体集積回路は多数のトランジスタで高度な情報処理を行うことができますが、センサやアクチュエータなどの異なる要素を融合することでさらに高度な機能を持たせることができます。  このMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、システムの鍵を握る要素として使われ付加価値は高いのですが、多様で品種ごとに異なるため開発には多様な知識や試作設備へのアクセスなどのオープンコラボレーションが不可欠になります。  本講義では、MEMSがどのように使われているか、またその製作のためのプロセス、要素技術やコラボレーションのありかたなどについて解説します。

1日目 MEMS技術入門講座: 基礎編

(2024年11月7日 10:30〜16:30)

  1. MEMSの使われ方
    1. 概論
    2. 自動車・スマートホンなどで使われる (量産) MEMS
    3. IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる (量産・高付加価値) MEMS
    4. インフラ・安全・環境、製造・検査などで使われる (高付加価値) MEMS
  2. 基本プロセス
    1. 基本プロセス1
      • パターニング
      • エッチング
    2. 基本プロセス2
      • 堆積と応力制御
      • 接合

2日目 MEMS技術入門講座: 応用編

(2024年11月8日 10:30〜16:30)

  1. 組合せプロセス
    1. 組合せプロセス1
      • バルクマイクロマシニング
      • 表面マイクロマシニング
      • ナノマシニング
    2. 組合せプロセス2
      • ウェハ転写とヘテロ集積化
      • 電気的接続
      • パッケージングと真空封止
  2. MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
    1. ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗物語
    2. MEMSの要素
      • センサ
      • アクチュエータ
      • エネルギ源
    3. MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他

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