PFAS規制の動向と半導体産業へ影響

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本セミナーでは、半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物 (PFAS) について取り上げ、PFASに関連する規制、現在の対応状況、今後の展開について詳解いたします。
また、半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向についても解説いたします。

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プログラム

有機フッ素化合物 (PFAS) の規制がますます強まっており、一般のニュースでも目にすることが多くなった。  本セミナーでは、PFASとはどういう物質で、どのような性質を持ち、なぜ規制されるのかについて解説する。また、ストックホルム条約 (POPs条約) および各国の規制動向についても解説する。半導体製造にも様々な工程でPFASが用いられている。それぞれの工程の内容となぜPFASが用いられているかを解説する。また、強まる規制に対して、装置・材料メーカーやデバイスメーカーが、どのように対応が行われているかについても述べる。

  1. PFASとは
    1. PFAS関連のニュース
    2. PFASの種類と性質
    3. PFASの用途
  2. PFAS規制の動向
    1. POPs条約
    2. 日本の規制動向
    3. 欧州の規制動向
    4. 米国の規制動向
  3. 半導体製造におけるPFAS使用工程 (前工程)
    1. 半導体製造方法 (前工程) の基礎
    2. リソグラフィー
    3. ウエットエッチング
    4. ドライエッチング
    5. 配管材料等
  4. 半導体製造におけるPFAS使用工程 (後工程)
    1. 半導体製造方法 (前工程) の基礎
    2. テープ・フィルム類
    3. モールド材
    4. 基板層間膜
  5. PFAS処理と代替材料の動向
    1. 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
    2. 廃液処理の現状
    3. PFASの分析方法
    4. 代替材料開発動向
    5. 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況
  6. まとめ

受講料

複数名受講割引

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

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