グラフェン系材料の基礎、高機能化技術及び応用への展開

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本セミナーでは、グラフェンの特徴や合成方法、CVDグラフェン特有の転写技術、物性を引き出す構造作製の要素技術を、実験室レベルでの扱い方も含めて紹介いたします。
さらに、ドーピングや高移動度化技術、原子層の評価技術を解説し、透明導電膜や電子デバイス、エネルギー応用への展開を説明いたします。

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プログラム

ナノ炭素材料の一つであるグラフェンは、キャリア移動度がSiの100倍以上等の優れた物性を持つことから、省エネで軽量な電子・光デバイス・部素材や高感度センサへの応用が研究されています。さらに、原子数層の薄さのため食品ロスやインフラ技術に貢献するフレキシブルなバリア膜・保護膜として期待されています。ここ数年で、量産技術や高機能化、用途開発等において大きく進展しています。  グラフェンは原子層であるために扱いが困難です。本セミナーでは、グラフェンの特徴や合成方法、CVDグラフェン特有の転写技術、物性を引き出す構造作製の要素技術を、実験室レベルでの扱い方も含めて紹介します。さらに、ドーピングや高移動度化技術、原子層の評価技術を解説し、透明導電膜や電子デバイス、エネルギー応用への展開を説明します。最後に、実用化への課題や今後への期待を述べます。

  1. グラフェンの特徴
    1. 電気的特性
    2. 光学的特性
    3. バリア性
  2. グラフェン形成・合成技術
    1. 機械剥離法
    2. 酸化グラフェンの還元法
    3. 熱CVD法
    4. プラズマCVD法
    5. 実験室での具体例
    6. 連続CVD合成技術
  3. CVDグラフェンの転写技術
    1. 実験室での具体例
    2. 大面積転写技術・連続転写技術
  4. グラフェンの評価技術
    1. ラマン分光法による欠陥・層数・応力の評価
    2. バックゲート型FET構造を用いた電気特性評価
  5. グラフェンの高機能化技術
    1. CVDグラフェンへのドーピング技術
    2. CVDグラフェンの加工技術
    3. CVDグラフェンへの高移動度化技術
    4. 酸化グラフェンの構造制御技術
  6. グラフェンの応用
    1. 透明導電膜
    2. バリア膜・保護膜
    3. デバイス・センサ応用
    4. エネルギー分野応用探索
  7. グラフェン産業化への課題
  8. まとめ

受講料

複数名受講割引

アカデミー割引

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