本講演では、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、膜応力の発生メカニズムについて、基材や膜構造、成膜条件の影響などの詳細を紹介します。
さらに、具体的な応力の測定法を含め、応力と密着性改善や膜特性制御との関係を理解し、様々な実用上の膜応力の課題に幅広く対処していただけるよう、基礎知識から実践的な対処方法までを網羅して、直感的にわかりやすく解説します。
初学者、中堅技術者で薄膜の応力と密着性や膜特性の制御に関して、現在成膜に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術の基本を習得して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方に適した内容です。
- 膜応力がどういうものかを詳しく解説
- Introduction 膜応力を制御したいと思う状況と問題解決の方法
- 膜応力とは
- 膜応力と歪みと変形の関係の基本知識
- 膜応力の発生する原因
- 薄膜が形成する過程での膜応力発生のメカニズム
- 基板の膜応力への影響
- 膜の微視的構造と膜応力との関係
- ピーニング効果とは
- 熱応力の発生メカニズム
- 成膜条件によって膜応力はどのように変化するか?
- 知っておくべき膜応力の性質
- パターンニングされた膜応力はどうなるっているのか?
- 多層膜における膜応力の特徴
- 膜応力の測り方を詳しく解説!
- Introduction なぜ薄膜の分析評価で苦労することが多いのか?
- 膜の何が変わり、何を測るか?
- 評価方法の詳細と測定上の注意点
- X線回折による構造因子からの測定
- ラマン分光による光学的特性からの測定
- 基板の曲率変化を測るマクロな形態からの測定
- FIB (Focused Ion Beam) を用いた画像からの測定
- 密着性や膜特性に関わる膜応力制御の考え方と手法を詳しく解説!
- Introduction 膜剥離・破壊と力の加わり方の関係から考える問題の解決方法
- 薄膜の密着力の実体はなにか?
- 弾性歪みエネルギーと膜応力・密着性との関係
- 膜応力制御と密着性改善の手法
- 様々な膜特性・性能への膜応力の影響
- 薄膜の耐熱性や、応力誘起による物質拡散に関わる問題解決の具体例
- まとめ
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
- 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 他の割引は併用できません。
アカデミック割引
- 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
- 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
- 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
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- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
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- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。
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- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
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