電子デバイス分野における静電気 (ESD) 対策基礎講座

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本セミナーでは、IEC 61340・RCJS規格が推奨する基本対策、静電気測定の基本、イオナイザーによる静電気対策の基本、評価・管理の基本、拡散性材料による静電気対策の基本、拡散性材料の評価・管理の基本、静電気放電検知について、基礎から分かりやすく解説いたします。

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プログラム

電子デバイス製造工程において、静電気帯電を起因とした不良・不具合問題の事例が多くなってきました。それに伴い、静電気放電 (ESD) 対策に関する対応が年々増えており、その内容も複雑かつ難しい (低電位管理) 内容になってきております。この様な背景は、ESD対策において当初は人体帯電対策 (HBM) が主要な対象でしたが、その後帯電したデバイスの対策 (CDM) 、電子基板からの放電 (CBE) やケーブルからの放電 (CDE) 等様々な物の帯電が要因となるケースが増えてきているからです。  更に、PCBの実装・製品組み立て工程におけるESD問題も、報告がされております。加えて、LSI製造技術が進展しチップレット技術の採用に伴い、更なる対策 (±30V以下) が求められています。これからのESD対策の為には、問題に対しての新たな認識や知識が求められてます。  本セミナーは、静電気の基本を再認識し、ESD対策に関する基本的なアプローチについて解説します。更に、最近の動向や計測器を用いた実演を参考に、効果的な静電気対策方法などを分かりやすく説明します。

  1. 静電気対策 初級編:
    1. 静電気の基礎
      1. 静電気とは? (静電気利用と問題)
      2. 電荷・静電容量・電位
      3. 静電気発生のプロセス (摩擦・剥離・誘導と帯電列)
      4. 静電気放電 (ESD) のプロセス (コロナ・グロー・アーク)
      5. 帯電電位と塵埃付着の関係 (エッジ効果)
      6. 静電気問題及び対策 (静電気の数値化・可視化)
        1. 抵抗測定器 (靴・リストストラップ・床・拡散性対策材料)
        2. 静電気測定器
          • 電界計
          • ACFB表面電位計
          • DCFB表面電位計
            • 実演:歩行中の人体帯電測定・対象物の大きさと測定精度
        3. 電荷量の測定 (ナノクーロンメーター)
        4. イオナイザーの検査・評価 (チャージド・プレートモニター)
        5. 静電気放電の検出
    2. 静電気による問題
      1. 人体帯電モデル (HBM)
      2. チャージドデバイスモデル (CDM)
      3. 帯電したPCB基板からの静電気放電 (CBE)
      4. 帯電したケーブルからの静電気放電 (CDE)
      5. 静電気帯電が形成する電界による誘導帯電
    3. 静電気対策
      1. 接地
      2. 導電性材料・拡散性材料の使用
        • 温湿度環境と表面抵抗値
        • 対策レベルと表面抵抗値
      3. 加湿 (湿度環境と静電気帯電電位の関係)
      4. 静電シールド (電界の遮蔽)
      5. イオナイザー
        1. イオンの生成方式
          • 放射線型
          • DC型
          • パルスDC型
          • AC型
          • パルスAC型
          • 高周波型
          • 次世代AC型
        2. 形式
          • バー型
          • デスクトップ型
          • オーバヘッド型
          • ノズル型
          • ガン型
        3. イオンバランス制御方式
          • センサーフードバック方式
          • 自己制御方式
        4. 性能評価
          • イオンバランス
          • イオンバランスの均一性
          • 減衰特性
          • 誘導帯電の有無
          • EMI
  2. 製造現場における静電気対策基礎編:
    1. 各種製造工程における静電気問題点と対策
      1. 半導体製造工程
        • 前工程
        • 後工程
      2. 液晶製造工程
      3. PC基板製造工程
      4. シート材製造 (フィルム等)
      5. 射出成型工程
      6. 製品組み立て工程

海外で言われている、静電気対策に関する間違った認識

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