DLC膜 (ダイヤモンドライクカーボン) の基礎、膜質制御とその応用展開

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本セミナーでは、DLC膜の基礎とその形成技術、活用するにあたっての注意点や適用事例などを解説いたします。

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DLC膜は、低摩擦特性、耐摩耗性という優れたトライボロジー特性を有することから、種々の機械部品の摺動 (しゅうどう) 面や接触面に適用されています。また、DLC膜は製法や形成条件によって、非常に広範な膜質を有することでも知られています。このような優れた機能を有するDLC膜ですが、適用にあたっては使用環境や使用条件など、考慮すべき種々の注意点があります。  本講座では、DLC膜の基礎とその形成技術、活用するにあたっての注意点や適用事例などを紹介します。

  1. DLC膜の基礎
    1. 表面処理技術の基礎
    2. DLC膜の基本的性質
      1. DLC膜とは
      2. DLC膜の特性
    3. DLC膜の形成技術
      1. CVD法とPVD法
      2. 各製法で形成された皮膜の一般的特性
    4. DLC膜の膜質制御
      1. UBMスパッタ法によるDLC膜の特性
      2. プラズマCVD法によるDLC膜の特性
    5. 前半のまとめ
  2. DLC膜の応用
    1. DLC膜適用における注意点
      1. 皮膜特性に及ぼす影響因子
      2. DLC膜の問題点
      3. 適用における注意点
    2. DLC膜の適用事例
      1. 実機への適用事例
      2. 講演者の取り組み事例
    3. DLC膜研究の動向
      1. 研究開発の動向
      2. 事例
    4. 後半のまとめ
    5. 総括

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