水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までポイントを1日で説明します。
半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを意識し、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうする操作なのかが直感で分かります。ここでは、さまざまな薬液の役割を紹介し、乾燥の要点にも触れた後、身近な流れの動画を見て感覚をつかみます。次に、大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に理解します。超音波や手動操作で生まれる流れについても、流れと気泡の動画を見るとイメージが明確になります。今後、極めて微細なパターンを洗浄する場合に見落としがちな事についても示して行きます。
最後には、足元をすくわれた時の視点と対策のポイントを整理します。「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して受講すると、特に効果があります。
- 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?
- 洗浄の4要素:力学が最も大切である理由
- 半導体の洗浄に特有のこと (洗浄で実現したい状態)
- 先端技術情報 (半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)
- 半導体洗浄の基礎現象 (薬液と流れの効果)
- 化学で汚れを動かす操作
- 力学で汚れを動かす操作
- 装置内流れの種類
- 流れの可視化観察 (「流れ」と「拡散」の感覚を動画で)
- 洗浄機内の流れと反応
- 枚葉式洗浄機
- 水の流れの実例 (実機の観察動画とシミュレーションの例)
- ノズルのスイングを続ける工学的理由
- 化学反応の例 (表面反応もここまで分かる)
- バッチ式洗浄機
- 水の流れの実例 (実機の観察動画とシミュレーションの例)
- 水流を低コストで最適化した事例 (入口と出口を変える)
- 上下揺動で流れを巻き込む
- 超音波の働き
- 水と気泡の動きの実例 (実機の観察動画)
- 洗浄結果の評価方法
- 狭い空間の洗浄 (盲点と工夫)
- まとめ:困った時の視点と対策 (境界層を壊そう!)
- まとめ:困らないように (地球環境は壊さない!)
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