ナノインプリントリソグラフィの基礎・応用

ナノインプリントリソグラフィ (Nanoimprint Lithography: NIL) は、ナノオーダーの金型転写技術であり、簡単な原理でナノパターンが得られる利点がある。また、最近は半導体露光装置への適用も期待されており、メタサーフェスやAR/VRグラスへの応用も進んでいる。このように、NILは最先端の高付加価値の製品をリーゾナブルな価格で作製することができる。 　本講演では、NILの基礎と要素技術を紹介した後、実用例等を紹介することで、今後の新製品のヒントが得られると考えている。また、ロールトゥロール (RTR) NILの説明も行い、反射防止構造フィルムの製造例なども紹介する。こちらもフィルムベースの新製品のヒントが得られると考えている。また、近年活発化しているメタサーフェスおよびAR/MRグラス等の状況も概説する。

1. はじめに
   1. ナノインプリントリソグラフィの現状
   2. ナノインプリントリソグラフィの実用例
2. ナノインプリントの基礎
   1. ナノインプリントの歴史
   2. ナノインプリントの要素技術
   3. ナノインプリントの各種方式
   4. ナノインプリントの位置づけ
3. ナノインプリントの応用技術
   1. ナノトランスファープロセス
   2. 金属パターン転写
4. ロールトゥロール (RTR) ナノインプリント
   1. RTR NILの基礎
   2. 反射防止構造 (モスアイ構造)
   3. モスアイ構造の作製方法
   4. モスアイ構造の転写方法
   5. モスアイ構造の応用例
5. 将来展望
   1. メタサーフェス
   2. AR/MR グラス
6. まとめ
• 質疑応答