私たちが生活を営む中で真空や真空技術を意識することはあまりありません。しかしながら家庭の中でも身近に真空機器が使用されています。例えば掃除機は真空ポンプの一種です。また魔法瓶は真空断熱技術を応用した機器です。更に、電球、蛍光灯からLED照明、真空管から半導体集積回路素子、ブラウン管からフラットパネルディスプレイ、撮像管から固体受光素子、最新の食品・医療・分析技術など、昨今のトレンドデバイスはほぼ全て真空技術の進歩と共に進化して来たものです。
今回の講座では、改めて真空の特徴と真空技術の基本を解説します。更にその基本知識を応用し、真空機器を運用することで問題を解決する手法を解説します。新しいデバイスの提案無くしては、製造産業の発展はあり得ません。今回の講座を通して、真空技術と共に皆様のお仕事のお手伝いをさせていただくことを期待しています。
- はじめに
- 真空とは?:産業で取り扱う「真空」の定義
- 真空技術の特徴と用途
- ノーベル賞と真空技術
- 真空技術の基本
- 圧力とは?:真空の程度を表す指標である圧力_大気圧は変動する
- 真空の分類
- 真空下での気体の挙動と特徴
- 平均自由行程と粘性流・分子流
- 超高真空の必要性と分子の入射頻度
- ガス流量を考える:安定したガス流用制御技術
- 真空技術の電子産業応用
- 純度を確保するためのガス配管管理:サイクリックパージ
- 真空充填技術:液晶注入
- 清浄表面の確保と真空:クラスター装置の設計指針
- 成膜時の膜純度確保と真空:到達圧力の影響
- CVD原料の蒸発速度と飽和蒸気圧
- 低温プラズマプロセスを実現する真空
- 低蒸気圧の化学物質を取り扱う真空装置の設計
- 真空を作る・測る
- 真空容器
- 真空ポンプ
- 真空計
- 真空部品
- 高真空・超高真空の機器と運用
- 電子産業と真空技術
- 薄膜形成技術1: PVD・蒸着・スパッタリング
- 薄膜形成技術2: CVD・ALD
- 薄膜加工技術 ドライエッチング
- 真空断熱技術:静電チャックの裏面パージを考える
- 真空応用分析機器
- まとめ
- 今後の製造産業を考える
- 更に真空技術を勉強されたい方へ
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
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アカデミック割引
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- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
- 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
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