透過電子顕微鏡による分析手法と試料作製の基礎を学ぶ

複合材料や触媒・微粒子などのナノ材料の開発・評価においては原子レベルで構造解析、分析ができる透過電子顕微鏡が不可欠な装置となっている。 　本セミナーでは、透過電子顕微鏡による材料の評価を迅速に正しく行うための基礎知識を学ぶ。 　透過電子顕微鏡の構造や操作方法とデータの解析方法、また分析目的に沿った試料作製法を系統的に整理する。

1. 電子顕微鏡 (TEM) と走査電子顕微鏡 (STEM) の基礎
   1. TEMの基礎
   2. TEMの構造と基本操作
   3. STEMの基礎と操作
   4. 収差補正電子顕微鏡の基礎
2. 高分解能法、電子回折法、STEM法
   1. 高分解能法と像解釈
   2. 電子回折の基礎と応用
   3. STEM像 (BF、ABF、HAADF) の基礎と像解釈
3. 分析電子顕微鏡技法
   1. エネルギー分散型X線分光 (EDS) 法
   2. エネルギー損失分光 (EELS) 法
   3. 電子線トモグラフィー法
   4. 電子線ホログラフィー法とローレンツ法
4. 分析用試料作製法
   1. 伝統的試料作製法
   2. イオンビームによる試料作製法 (FIB、イオンスライサー)
5. 電子顕微鏡分析の実際と評価・解析の例
   1. 触媒、コア/シェル粒子
   2. カーボン材料 (ナノチューブ、グラフェン)
• 質疑応答