クリーンルームの維持管理と静電気対策の実際

既存のクリーンルーム知識の大半は建築設計を中心にまとめられた規格や技術である場合が多く、クリーンルームを使用する者の立場に立った「どの様にクリーンルームを使用して行くか?」という技術解説は殆ど見当たりません。 　クリーンルーム内で生産しているにもかかわらず生産現場では不良が発生しており、それらはそのまま廃棄の対象となってしまいます。 　これらの不良が削減できれば全て利益として還元され、その原価改善効果は計り知れません。「この程度の不良は出ても当たり前だ」と考えずに、今一度不良削減に取り組んでみませんか? 　本講演は使う側の立場に立ったクリーンルームのあり方、その改造方法、クリーンルームの運用方法を、また、クリーンルームを持たない一般環境下の生産に関してもクリーン技術を駆使して生産現場の不良を削減する手法及びその事例をご説明致します。 　クリーン化技術は半導体のみならず、医療、医薬品、食品、各種塗装製品、カメラをはじめとする光学機器生産、その他の組立製品に関しても共通に使用できる有用な応用技術です。 　一方、静電気対策もゴミ・異物を引き寄せてしまう厄介者ですが、一般には静電気対策資材やイオナイザーを設置すれば完了という様な誤った認識が多く散見されます。静電気技術の正しい理解と活用により現場の歩留まりは大きく変化してしまいます。本講演では静電気の基礎から資材の評価やイオナイザーの選定・設置方法まで具体的に詳しく御説明致します。

1. 第1部:クリーンルームの基礎
   1. ゴミ・異物とは何か (対策の対象となる不良や不良原因の範囲は?)
      1. ゴミ・異物の範囲 雰囲気中のゴミ・異物
      2. 因果律
   2. クリーンルームの基礎知識
      1. クリーンルームの四原則
      2. クリーンルームの原理
      3. クリーンルームの方式
      4. クリーンルームとは一体どの様な部屋なのか?
      5. ゾーニングとは何か?
      6. 差圧計
   3. クリーンルームの規格
      1. 規格の始まり
      2. 米国Fed – Std – 209とISO規格
      3. 各国のクリーン度規格
      4. クリーンクラスグラフの活用
   4. クリーンルームの運用方法
      1. 清掃のポイント
      2. 清掃方法の比較
      3. 清掃頻度の考え方
   5. 清掃の徹底
      1. 清掃を簡略化するアイデア
      2. クリーンルーム入室時の注意事項
      3. クリーンルーム内での注意事項
2. 第2部:クリーンルーム運用と不良対策の実際
   1. ゴミの性質を知る 先ずは敵を知ろう
      1. クリーン化へのステップ
      2. ゴミ・異物の大きさを認識する
      3. ゴミ・異物の見つけ方
         (不良の原因となっているゴミや異物をどの様にして発見するのか?)
      4. ゴミ性質を認識する
   2. ゴミの見つけ方
      1. 管理すべきゴミ・異物は何か?
      2. ゴミの見える化 (輝度、コントラスト)
      3. ゴミ・異物の補足方法
      4. ゴミの判別方法 繊維の判別
      5. 繊維の見分け方
   3. 測定機器
      1. パーティクルカウンター
      2. ゴミの原因の同定 FTIRの活用
      3. パーテュクルセンサー
      4. 湿度計・風速計
   4. 発塵の実際
      1. クリーン着からの発塵
      2. 手袋の効果
      3. 粘着マットの効果
      4. クリーニングの効果
   5. その他の知識
      1. エアフィルターの補足機構
      2. クリーンブースの正しい使い方
      3. クリーンの四原則と5S
   6. クリーン資材
      1. クリーン着
      2. ワイパー
      3. 手袋
   7. 生産工程の注意すべき内容とその改善方法
      1. 射出成型
      2. 塗装工程
      3. 組立工程等々
      4. 半導体工程、
   8. ゴミの堆積例のご紹介
   9. 現場改善事例のご紹介
3. 第3部:静電気対策
   1. 静電気により発生する問題
   2. 静電気の基礎
      1. 静電気とは何か?
      2. 何故イオン化するか?
      3. 様々な帯電現象
      4. 具体的な帯電の例
      5. 誘導体電
      6. 導体と絶縁体
      7. 導体の帯電と絶縁体の帯電
      8. 帯電列
      9. 人体放電と電撃の関係
      10. 静電気破壊
   3. 静電気の対策
      1. イオナイザーの種類と利用方法
      2. 帯電量と湿度
      3. 見かけ上の静電気の変化
      4. 静電気を計測する機器
   4. 静電気対策の実施例