本セミナーでは、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説いたします。
日時
- 2024年4月11日 10時30分〜 2024年4月11日 16時30分
開催予定
プログラム
スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な技術で、近年はさらに用途が拡大しています。しかし、量産技術をどのように確立し、品質をどのように改善するのかについてのノウハウはあまり知られていません。 本講座では、スパッタリング薄膜の原理・メカニズムを解説し、品質向上や密着性改善などの実務課題への対応方法を具体的に解説します。実務上の問題についてのご質問もその場で回答します。スパッタリングの基礎を学びたい方はもちろん、実務エキスパートとして活躍されている方にも大変お勧めです。
- スパッタリング法の基礎 (基礎編)
- 薄膜技術の基本を知る
- スパッタリング法の特徴とその用途
- スパッタリング装置の構成
- スパッタリング工程の運用と管理方法
- スパッタリング法の物理現象
- 物理現象を把握することの重要性について
- スパッタリングの物理現象1 (プラズマ放電)
- スパッタリングの物理現象2 (スパッタリング)
- スパッタリングの物理現象3 (組織形成)
- スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
- スパッタリング薄膜の評価・分析技術
- スパッタリング薄膜に求められる性能とは
- あらゆる機能の基礎となる、膜厚・形状の測定
- 薄膜の性能を知るための、各種特性の測定・評価
- 特性の発現機構を明らかにする、結晶構造評価
- 不具合現象開明のための元素・状態分析
- 信頼性評価のための機械的性質・密着性評価
- スパッタリング薄膜の特性安定化 (応用編)
- 特性実現と特性安定化という2つの課題
- 特性とパラメータの間にあるものを理解する
- プロセスのばらつき・変動要因を理解する
- プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
- スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント
- スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善
- 薄膜の密着と剥離のメカニズム
- 解析〜原因追究の手順
- 密着性改善・安定化のための具体的な手法
- 薄膜の信頼性の問題と対策
- スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
- スパッタリング薄膜の欠陥モード
- スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
- ピンホール・付着異物の原因究明と対策
- 変色・しわ・しみの原因究明と対策
受講料
- 1名様: 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 複数名: 25,000円(税別) / 27,500円(税込)
案内割引・複数名同時申込割引について
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
- R&D支援センターからの案内を希望する方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
- R&D支援センターからの案内を希望しない方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)
ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー
- 「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は、PDFファイルを配布予定です。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
ライブ配信セミナーをご希望の場合
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アーカイブ配信セミナーをご希望の場合
- 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
- 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
- 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
- 視聴期間は2024年4月15日〜26日を予定しております。
ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。