大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず、また高密度な活性種を生成できるため、産業応用には大変多くのメリットがあります。このため、ここ数年、材料表面の親水化処理、接着性の向上、クリーニング等の分野で急速に利用され始めています。学術的にも、IEEEの国際会議では2005年には1%以下だった大気圧プラズマの発表件数が、近年では半数を超えて激増しています。しかし、大気圧プラズマの発生や利用法についてはブラックボックス的な部分が多いため、産業応用へのしきいが高いのも事実です。
そこで本講演では、前半で大気圧プラズマの物理や基本的な装置構成をわかりやすく解説し、後半で講師の最新の研究テーマである、マルチガスプラズマ、温度制御プラズマ、パーティクルフリープラズマなど新しい装置の開発、およびこれらを活かした高速表面クリーニング、接着性改善、酸化膜還元、殺菌処理、環境浄化、皮膚等付着物分析、美容・医療・農業応用などにスポットをあてて研究成果をご紹介します。
- 大気圧プラズマの基礎
- なぜ大気圧プラズマ?
- プラズマの特長
- 大気圧プラズマの生成法
- プラズマ中の原子・分子過程
- プラズマの物理
- 大気圧高温プラズマと応用
- 大気圧高温プラズマ
- ガス分解処理
- 半導体表面処理
- 大気圧低温プラズマ
- 低温プラズマとは
- リモートプラズマ
- マルチガスプラズマ
- プラズマガス種と生成される活性種
- 温度制御プラズマ
- クリーンルーム対応パーティクルフリープラズマ
- 大気圧低温プラズマの応用例
- 表面処理への応用
- 殺菌・美容・医療・農業分野への応用
- 環境浄化・分析への応用
- プラズマとバブル、超音波、紫外線、赤外線等のハイブリッド処理
- 大気圧プラズマの有効な利用法と近未来展望
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