弾性波デバイス (BAW・SAW) の基礎と最新動向

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本セミナーでは、弾性体や圧電体の基本的な考え方・理論、BAWやSAWの原理、種類や励振方法から今後のFBARやSAWの技術の動向などについて講演いたします。

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圧電薄膜バルク波デバイス (BAW、FBAR) や弾性表面波 (SAW) は小形、軽量、周波数無調整、高信頼性、高周波化対応可能等の特徴を持つ。SAWの民生用への応用はテレビの映像中間周波数 (VIF) 用フィルタが最初で、その後SAWデバイスは自動車電話、コードレス電話、ペジャ用などへの応用を経て、今や携帯電話、スマートフォンに欠かせない重要な部品となっている。一方、BAWは携帯電話の普及により採用され、当時、SAWの比べて急峻な特性を持つため、急峻な特性が要求されるbandを中心に採用されるようになった。近年のスマートフォンの普及により、両デバイスは、それぞれ特徴を生かしたBandに使用されている。また近年の周波数の混雑対策として、SAWでも急峻な特性が得られるようになってきている。今後、急峻な特性と良好な温度特性をもつフィルタ特性に加え、キャリアアグリゲーションシステムの普及により、広い周波数範囲でスプリアスのないフィルタが要求されている。さらに近年、第5世代用あるいは第6世代用に加え、自動運転、ICT、FR3など5〜24GHz用高周波弾性波フィルタが要求されるなど、ますますBAWやSAWフィルタの弾性波デバイスへの期待が高くなっている。  本講演ではこれらの背景を踏まえ、弾性体・圧電体の基礎からBAW・SAWフィルタの原理・応用例や最近の動向、ならびに開発・実用化事例を交えて解説する。

  1. 弾性体の基礎
  2. 圧電体とは
  3. バルク波 (BAW) (FBAR) (XBAR,YBAR含む)
  4. 弾性表面波 (SAW)
  5. 板波
  6. 共振子とフィルタ
    1. トランスバーサル型フィルタ
    2. 共振子フイルタ
    3. ラダーフィルタ
  7. 近年話題のSAW・BAWデバイス
  8. 今後の動向
    1. 高周波デバイス
    2. 広帯域デバイス
  9. 開発・実用化例

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