クリーンルーム運用の基本と効果が出るゴミ・異物管理及び静電気対策

クリーンルーム内で生産していればゴミ・異物不良は無い筈だと思われている方が多い様ですが、クリーンルームはしっかりと運用してこそ効果を発揮してくれます。車はあるが運転免許証がないのでは安全で快適なドライブは望めません。 　本講演はクリーンルームの原理からその運用方法、ゴミ異物の発見とその除去方法まで、実例を交えて解説して行きます。また、静電気はクリーンルーム内であってもワークにゴミ・異物を呼び寄せてしまう厄介な存在ですが、問題が多いわりに静電気技術に詳しい技術者は極めて少ないのが実情です。本講演では静電気の発生機構、測定法を解説した上でその対策方法も実例を含めて解説して行きます。

1. クリーンルームの基礎知識
   1. ゴミと異物とは何か
   2. ゴミ・異物の範疇
   3. 雰囲気中のゴミ・異物
   4. クリーンルームの基礎知識
   5. クリーンルームの四原則
   6. クリーンルームの原理
   7. クリーンルームの方式
   8. クリーンルームとは一体どの様な部屋なのか
   9. ゾーニングとは何か
   10. マノスタゲージ
   11. クリーンルームの規格
   12. 各国のクリーン度規格
2. クリーン技術の応用
   1. ゴミの性質を知る
   2. クリーン化へのステップ
   3. ゴミ・異物の大きさを認識する
   4. ゴミ性質を認識する
   5. ゴミ・異物の見つけ方
   6. 管理すべきゴミ・異物
   7. ゴミの見える化
   8. ゴミ・異物の補足方法
   9. ゴミの判別方法
   10. 短繊維と長繊維
   11. パーティクルセンサー
   12. FT-IR
3. 現場管理のポイント
   1. クリーンルームの運用方法
   2. クリーンルームの清掃のポイント
   3. クリーンルーム入室時および室内での注意事項
   4. エアフィルターの粒子捕捉原理
   5. クリーン資材のご紹介
   6. ゴミの堆積例
   7. 現場改善実例
4. 静電気の基礎技術
   1. 静電気により発生する問題
   2. 静電気とは何か
   3. 様々な帯電現象
   4. 現場で生じる具体的な帯電現象の実例
   5. 導体と絶縁体
   6. 誘導帯電
   7. 帯電列
   8. 静電気破壊
5. 静電気対策方法
   1. 静電気と湿度
   2. 静電気の計装機器
   3. 見かけ上の静電気の変化
   4. イオナイザーの種類
   5. 静電気対策に必要となる資材
   6. 静電気対策事例
• 質疑応答