洗浄の基礎と高品質洗浄達成の総合知識

本セミナーでは幅広い知識だけでなく、なぜそうなるのかという洗浄のメカニズムを理解いただくことに注力しております。洗浄の現場で出会う現象に対応し、高品質洗浄を達成するには大変重要になります。 　まず、洗浄の基礎では、汚れの種類、装置や工場設備を考慮して洗浄の概工程を決める方法、および工程設計の基本や注意点をわかりやすく紹介していきます。 　次に湿式洗浄のメカニズムを詳しく説明します。単一の液の中でも濡れや剥離、再付着防止などいくつもの作用があって汚れが除去されていきますが、これらをなるべく数値で評価します。例えばエクセルを使っての再付着防止シミュレーションや、ハンセン溶解度パラメーターを活用した具体的な洗浄液の選定や調整方法についても述べます。さらに超音波等の機械力の洗浄メカニズムと使用方法、注意点を説明いたします。 　乾式洗浄や (乾式+湿式) 洗浄でもメカニズムと利用方法を説明します。また、実際にあった洗浄不良と対策例を示しながら、不良発生時の推奨対応方法を説明します。洗浄メカニズムに沿った最適洗浄工程であっても量産では日々の変動を管理する必要があります。洗浄液だけでなく装置や純水などの現場でできる簡易評価方法を説明します。

1. 洗浄の基礎
   1. 汚れの種類と洗浄工程
   2. 水系洗浄の知っておくべきこと
   3. 市販洗浄液の例
2. 湿式洗浄の除去メカニズム
   1. 5つの基本工程と3つの分離メカニズム
      1. 濡れ
      2. 分離
         • 剥離、エッチング
         • 溶解
         • 分解
      3. 分散、再付着防止
      4. 排出 (リンス)
      5. 乾燥
   2. 水系洗浄
      1. 洗浄剤について
         • 界面活性剤と酸、アルカリの働き
         • DLVO理論による汚れの再付着防止
         • 電位 – pH図応用によるエッチング
      2. 排出 (リンス)
         • PIV応用による排出効率向上
      3. 乾燥、除電
   3. 準水系洗浄、非水系洗浄、エマルジョン洗浄
      1. 洗浄剤について
         • ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
      2. 排出 (リンス)
      3. 乾燥、除電
   4. 市販洗浄液選定方法の例
3. 湿式洗浄装置、治具
   1. 超音波 (メガソニック)
      1. 超音波洗浄メカニズム
      2. 異物大きさと周波数の目安
      3. 超音波洗浄の改善
   2. その他の機械力印加洗浄
      1. スクラブ
      2. ジェットスプレー
      3. 二流体シャワー
   3. 治具
      1. 治具の種類
      2. 使用時の注意点
4. 乾式洗浄の除去メカニズム
   1. プラズマ洗浄
   2. UV洗浄、オゾン洗浄
   3. レーザー洗浄
   4. アイス洗浄、ドライアイス洗浄、エアロゾル洗浄
   5. コロナ、光による除電
5. (乾式+湿式) 洗浄の除去メカニズム
   1. アッシング → 熱硫酸洗浄
   2. UV → オゾン水洗浄
   3. オゾンガス → 水洗浄
6. 洗浄不良と対策例
   1. 洗浄液選定起因の不良
   2. アルカリ洗浄液管理起因の不良
   3. 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
   4. 純水バクテリア起因の不良
   5. 超音波ダメージ起因の不良
   6. 温水引上げ時の汚染起因の不良
   7. その他の不良
7. 現場でできる簡易の品質評価方法
   1. 製品評価
   2. 洗浄液評価
   3. 純水評価
   4. 洗浄装置
8. 現場での不良原因確認と対応方法
   1. 不良発生時の陥りがちな行動
   2. 不良発生時の基本行動
9. 洗浄工程の管理
• 質疑応答