現在、レジスト材料は、半導体、ディスプレイ、プリント基板、太陽電池、MEMS等の多くの電子産業分野において、世界市場で実用化されています。その市場規模は、年間1500億円におよび年々拡大しています。その反面、レジスト材料プロセス技術の高度化に伴い、フォトレジストの品質が製品に与える影響も深刻化しています。また、レジストユーザーの要求も幅広くなり、レジスト材料および装置メーカー側は対応に追われる状況です。
本セミナーでは、レジスト材料開発、およびレジスト処理装置関連の技術者、レジストユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト材料の特性、プロセスの最適化、付着・濡れ・欠陥といった各種トラブルに注目し、評価・解決のアプローチを丁寧に説明します。また、研究開発・トラブルフォローといった実務上での取り組み方について、豊富な実例を交えながら解説します。また、レジストユーザーの視点とは何かを講師の経験も含めて詳述します。受講者が抱えている日々のトラブルやノウハウ相談にも個別に応じます。
- レジスト概要 (産業上の実用例)
- エッチング用レジスト
- めっき用レジスト (金属配線形成)
- ソルダーレジスト (プリント基板)
- 構造用レジスト
- 厚膜用レジスト
- カバー用レジスト
- レジストプロセスの基礎 (これだけは習得しておきたい)
- レジスト処理プロセスの最適化
- プロセスフロー
- ポジ型/ネガ型の選択基準 (ピンホール欠陥)
- 露光描画技術の最適化
- レジスト処理の最適化
- 光学像コントラスト (光回折劣化)
- 残膜曲線
- 溶解コントラスト (レジスト垂直性)
- 現像コントラスト (現像液濃度)
- パターン断面改善
- レジスト処理装置・プロセスの最適化とその要点
- HMDS処理 (剥離防止)
- コーティング
- 現像
- 乾燥
- レジスト除去
- レジスト欠陥・トラブル対策 (歩留り向上の最優先対策とは)
- 致命欠陥とは
- 欠陥と歩留まり (ウェットプロセスの貢献)
- 配線上異物
- 塗布ミスト (バックエッジリンス)
- 接触異物 (発塵)
- パターン剥離メカニズムとその影響因子とは
- 接着促進要因とは (付着エネルギーWa)
- 剥離促進要因とは
- 検査用パターン
- パターン直接剥離解析 (DPAT法)
- レジスト膜欠陥と対策
- ストリーエーション (スジ状膜厚むら)
- 膜分裂 (超薄膜化と自己組織化)
- 乾燥むら (乾燥対流とベナールセル)
- 環境応力亀裂 (クレイズとクラック)
- ピンホール、はじき (拡張濡れ対策)
- 膨れ (ブリスター)
- バブル対策 (界面活性剤)
- 参考資料
- 塗膜トラブルQ&A事例集 (トラブルの最短解決ノウハウ)
- 表面エネルギーによる濡れ・付着性解析法 (測定方法)
- 質疑応答
案内割引・複数名同時申込割引について
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 42,000円(税別) / 46,200円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
- R&D支援センターからの案内を希望する方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
- R&D支援センターからの案内を希望しない方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。