クリーンルームにおけるゴミ・異物の見える化と静電気対策

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本セミナーでは、クリーンルームの維持管理の基本と効果的な管理方法について、事例と実演を交えてわかりやすく解説いたします。

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プログラム

「クリーンルームは管理無ければ只の箱」と言われます。その管理の基本『クリーン化の四原則』を明確にし、対象となるエリア「加工点」「保管場所」「搬送系」の3点を対象に、清掃を含めて、いかに効率的にかつ効果的な管理を行うのかを、いくつかあるクリーンルームの形態毎に、不良につながる可能性状態を動画や写真でご紹介し、効果的な管理につながる手法を明らかにして行きます。

 こうした声を多く聞く様になりました。これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。また、パーティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。5~10~100μmと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法・数値管理方法を述べて参ります。  また、ゴミ・異物管理~対策において避けて通れない「静電気」にも目を向けて管理手法・対策手法を明らかにして参ります。  現場に戻り即、役立つ情報・技術・管理手法等を分かり易くご説明致します。ご質問や疑問点があるときは、質疑応答時間若しくは終了後メールにてお寄せください。多くのご質問をお待ちしております。一緒に考えて解決して行きましょう。

  1. 『ゴミ・異物不良の本質』を知るとは…
    1. ゴミ・異物不良は永遠の課題?
    2. 何故?ゴミ・異物不良は、『難題』になるのか。
    3. 本質を知る必要性とは…
    4. ゴミ・異物とは何か。どんなものか。
    5. ゴミ・異物は、どこから来るのか。
    6. 自分 (達) が関与する製品が、不良となる異物とは…
    7. 生産工程における異物の挙動・振る舞い
    8. 物質による挙動の違い
    9. 現場は、異物だらけ。
    10. 感性を磨く必要性
    11. ゴミ・異物の事例/ゴミ・異物不良の事例:写真
    12. 見える化の必要性
    13. 見える化の仕組みとは
    14. 見える化機器のご紹介
    15. まとめ
  2. クリーンルームの清掃と見える化機器の活用管理
    1. クリーン化における清掃は技術として捉えよう
    2. この差ってなんですか?:掃除と清掃の違いって分かりますか。
    3. クリーンルームの清掃の目的と意義
    4. 「3つ」の管理POINTと標準化:いつ?誰が?どうやって?
    5. 生産環境における清浄化対象箇所
    6. 清掃はいつやるのが良いのか? 始業時?終業時?昼休み前後?
    7. クリーン化の四原則における清掃の位置付け:除去/排除する
    8. クリーンルームの占有状態と言う捉え
    9. 清浄化の重点箇所と留意点:加工点/保管場所/搬送系
    10. 「見える化機器」の活用法
    11. なぜ、見える化が必要なのか
    12. 気流の可視化も重要。:浮遊異物は気流によって運ばれる。
    13. クリーンルームの清掃方法
      1. 清掃作業員の適正化も大切
      2. 清掃方法の分類と方法:その1 日常/定期/特別と言う捉え
      3. 清掃方法の分類と方法:その2 簡易/普通/精密と言う捉え
      4. 清掃方法に関する留意事項:清掃し易い環境をつくる etc
      5. 清掃の手順はどうするのか。
      6. 清掃資材の汚れ状態も確認しよう
      7. 清掃用具類のあり方
      8. 清掃方法の効果と比較
      9. 静電気による粒子付着に対する清掃POINT
      10. 粘着マットの剥がし方にも注意を! 等
  3. 防塵衣の管理と身近な発塵源と発塵対策
    1. なぜ、防塵衣を着るのでしょうか。
    2. 防塵衣の適正化に取組む各メーカー
    3. 人間の動作と発塵量
    4. クリーンルーム内のゴミ・異物の割合は?
    5. 皮膚からの発塵の抑制の考え方
    6. 防塵衣に求められる性能
    7. 織り込み導電繊維の効果って知ってますか。
    8. 防塵衣の性能を発揮するには?
    9. 防塵衣着用時の発塵機構を知ろう。
    10. 動作発塵評価 3事例ご紹介
    11. ポンピング発塵データご紹介
    12. 評価環境と機器類とは
    13. 防塵衣クリーニングのあり方:専用クリーニング
    14. 身近な発塵源と発塵対策:粗大粒子の捉え
      1. 身近な発塵源の状況可視化:動画でご紹介
      2. クリーンルーム内で使用する資材の評価と評価方法/データ
      3. 粗大粒子と言う捉え
      4. クリーンルームの中には、5μm以上の異物はないのでしょうか。
      5. 自工程で不良につながる異物粒径を知ろう
      6. 粗大粒子による影響が大きい
      7. 粗大粒子が原因となった不良事例 3点
      8. JISによる粒子の分類と定義
      9. 微粒子と粗大粒子の挙動/振る舞いの違い
      10. 気中パーティクルカウンターの特性
      11. パーティクルカウンターの吸引量による違いを知ろう
      12. ゴミ・異物の大きさと挙動の認識 (鉄1kgと綿1kgどっちが重い?)
      13. 粗大粒子対策は換気回数を上げても、減少しない。
      14. 粗大粒子は見える化出来る!
      15. 粗大粒子の見える化から数値化/数値管理法
      16. ISO-14644シリーズ
      17. ISO-14644-9 表面清浄度規格:SCP規格
      18. ISO準拠 粗大粒子測定器:落下塵カウンターの概要 等
  4. クリーン化・異物対策における静電気対策
    1. なぜ、クリーン化において、なぜ静電気に注力しなければいけないのか?
    2. 電気とは… (動電気/静電気)
    3. 静電気の基本 (静電気の発生と静電気要因不良)
    4. 静電気対策方法:考え方
    5. イオナイザーの種類と特性:選択ミスは不良につながる。
    6. 除電のメカニズム
    7. イオナイザー使用時の注意点
    8. 作業環境 (湿度) と静電気の発生
    9. 静電気対策は、費用が掛かる?
    10. 静電気対策事例:良い事例/悪い事例:対策方法事例紹介
    11. 後戻りしない対策のあり方 :まとめ

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