半導体デバイスは現在の科学および産業に多大な貢献をしています。また、その高機能化の進歩は極めて速く、多くの基盤技術が創生されています。その中でも、半導体基板のクリーン化技術は、製品歩留まりに直結しているため、重要なキーテクノロジーの1つとして位置づけられています。
本セミナーでは、長年、講師がスーパークリーンルーム内で先端製品の開発製造に携わった経験から、ユーザー視点における半導体洗浄やクリーン化技術の要点とノウハウを丁寧に解説します。特に、半導体、有機・無機・金属等の微小欠陥の性質や、これらの付着除去・管理・計測方法、および固体表面と固液界面の性質等について解説します。本講座を通じて、基礎から学んでいただけます。また、受講者が抱えている日頃の研究開発および現場トラブルに関する相談にも個別に対応します。
- 洗浄技術と半導体デバイス
- 基本洗浄方式
- 歩留まりと欠陥
- 洗浄の基本メカニズム (付着・脱離)
- 相互作用因子
- ファイン粒子の性質
- DPAT技術
- 液体ラプラス力
- 溶液中の粒子付着と除去
- ゼータ電位と分散凝集制御
- 表面エネルギーと洗浄 (分散、極性成分からの付着性解析)
- 界面への洗浄液の浸透機構
- 有効な付着物の除去方法とは? (徹底的に除去するには)
- RCA洗浄
- 腐食溶解
- マイクロ気泡の脱離
- 超音波洗浄
- 乾燥痕対策
- プラズマ処理
- ブラシスクラバー
- 効率的なクリーン化技術とは (クリーンルーム運営)
- 花粉、PM2.5、バクテリア、マイクロビーズ (身近な異物)
- フィルター技術
- 単分子有機汚染
- パーティクルカウンター
- 動線のコントロール
- 質疑応答
- 日頃の疑問、トラブル、解析・技術開発相談に個別に応じます
案内割引・複数名同時申込割引について
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 42,000円(税別) / 46,200円(税込) で受講いただけます。
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- R&D支援センターからの案内を希望する方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
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- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
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- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
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