クリーン化技術と表面清浄度管理

従来、クリーンルームニーズは半導体をはじめとする各種デバイスやディスプレイデバイスなどで必要とされていた浮遊微粒子対策が中心であったが、最近では、光学部品や機能性フィルム、自動車塗装、実装などの表面処理の品質にかかわる粗大粒子対策が重要視されるようになってきた。すなわち、落ちてきて付着するダストである。これは次第に堆積していく点で対策が難しい。 　本講では粗大粒子対策にスポットを当て、管理方法としての表面清浄度の規格とその評価方法、また、その実践方法としてのクリーンルームライトや落下塵カウンターの活用を紹介し、効果的なクリーン化技術の導入方法について提案する。従業員教育では海外の工場での難しさを取り上げ、導入のポイントについて解説する。※デモ機による実演付。

1. クリーン化技術の効果を高めるために知っておきたい事
   1. クリーン化技術とそのニーズ
   2. クリーンルームの定義と規格
   3. 良品率とクリーン化対策の相関
   4. クリーン化には2つのターゲットがある
   5. 表面清浄度のクリーン化ニーズ
   6. 微粒子だけでなく粗大粒子の対策も重要
   7. 気中の異物の挙動はサイズにより3パターンあり
   8. ゴミ・ホコリの正体と発生源
   9. 製品表面へのゴミ・ホコリの付着原因
   10. クリーンルームの4原則
   11. クリーン化の4原則
2. ダストの「見える化」～「定量管理」
   1. クリーンルームライトによる粗大粒子の可視化
   2. ポラリオン ライトがよく見えるわけ その1/その2
   3. 実際に30μm粒子の挙動をビデオで見てみよう movie1～3
   4. 気中の微粒子濃度管理では表面清浄度は保てない
   5. 粗大粒子のトラブルは堆積によっておこる
   6. 「見える化」から定量管理へ
   7. 表面清浄度SPC規格
   8. 表面清浄度の測定方法について
3. 落下塵カウンター
   1. 粗粒子対象SPC測定装置 落下塵カウンター
   2. 落下塵カウンターによるSPC管理の例
   3. 落下塵カウンターで周囲環境の落下塵を測定
   4. 閉鎖空間におけるパーティクルテスト
   5. 落下塵カウンターの応用例 スタンプテスト
   6. 除塵評価事例
      • エアガンでの除塵
      • ワイパーの除塵
4. クリーン機器の効果と問題点
   1. エアシャワーの効果を検証する
      • 除去率
      • エアシャワーが苦手なもの
      • 内部クリーンナップ
   2. エアシャワーで落としたゴミはどこへ行く
   3. エアシャワーと静電気
   4. 気流方式によるクリーンルームの差
   5. 換気回数によるクリーン化の差
   6. 局所クリーン化事例
   7. 局所クリーン化の気流
5. 従業員教育と入退室管理
   1. 海外におけるクリーン化教育～エンジニア向け
   2. 海外におけるクリーン化教育～ワーカー向け
   3. クリーン化の問題をとらえるための教育
   4. クリーン化が自走できるためにやっておきたい事
   5. 組織ぐるみのクリーン化対策を進めよう
   6. 作業員教育の重要性、継続できることが重要
   7. まとめ
• 質疑応答・名刺交換・個別相談