研磨加工の要素技術と高精度・高能率化のポイント

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本セミナーでは、研磨加工について基礎から解説し、研磨加工の高精度化に関する基本的な考え方、アプローチ法をわかりやすく解説いたします。

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プログラム

研磨加工技術は古くからある加工技術にもかかわらず、現在でも多くの先端デバイスの最終仕上げ加工法として用いられています。それは研磨加工が他の加工技術を凌駕する優れた特徴を有するためですが、一方で、検討すべき因子が多く 最適なパフォーマンスを得るのに苦労する方が多いのも実際ではないでしょうか。この問題を解決し優れた研磨加工を実践するには、研磨加工全般にわたり系統立った知識を適切に獲得し、その知識を駆使する中で最先端の加工技術を習得していく必要があります。  こうした観点にもとづき、本講座では研磨加工の基礎に重点を置きつつ、最新の動向までを整理し系統立って解説します。これから研磨加工に従事されようという初心者・新人の方々、また今一度再確認されたいという方々、さらにはこれからの研磨加工の開発動向を把握されたい加工技術者の方々に有意義な講義になるものと考えます。

  1. 研磨加工の基礎知識
    1. 研磨加工の特徴
      1. 切削加工・研削加工・研磨加工
      2. ラッピングとポリシング
      3. 様々な研磨加工方式
      4. 化学的作用等を複合化させた研磨加工方法
    2. 砥粒・工具の種類と特徴およびその選択方法
      1. ラッピング用砥粒
      2. ポリシング用砥粒
      3. 研磨パッド・研磨布
    3. 周辺技術
    4. 研磨加工における除去加工基本モデル
  2. 研磨加工の高精度化と高能率化
    1. 高平坦研磨加工を実現するためのポイント
      1. 全体形状悪化の要因と対策
      2. エッジだれ発生の要因と対策
    2. 高能率研磨加工を実現するためのポイント
    3. 固定砥粒研磨加工を実現するためのポイント
    4. バフ研磨加工におけるスクラッチ発生低減のためのポイント

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