インクジェット成膜におけるマランゴニ変形とその効果

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本セミナーでは、インクジェット成膜の移動現象、コーヒーリング効果の幾何学的解釈、マランゴニ効果の幾何学的解釈、平面上液滴以外への応用について詳解いたします。

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プログラム

本セミナーでは、インクジェット成膜でマランゴニ対流 (表面張力差対流) のメカニズム、薄膜形状への影響について、数値シミュレーション、成膜実験を紹介しながら、「コーヒーリング効果」から「マランゴニ効果」までを液滴変形の観点から統一的に解説します。

  1. コーヒーリング効果
    1. 不均一蒸発速度分布とself-pinning
    2. 液滴変形と内部流れ
  2. マランゴニ対流
    1. 濃度分布に起因する対流
    2. 内部流動と膜形状
  3. マランゴニ変形
    1. 数値シミュレーション
    2. 実証実験
    3. 液滴変形と内部流れ
    4. バンク構造を有する基板上成膜

受講料

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