プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセスの基礎

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本セミナーでは、プラズマの性質やプラズマ中で起こっている基本的な現象 (電離、解離、拡散、消滅) を解説するとともに、半導体微細加工において重要なパラメータとなる壁へのイオンや化学活性種のフラックス量がどのような過程で決定づけられているかを説明いたします。

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プログラム

さまざまな表面化学反応を低温で実現できるプラズマプロセスは半導体製造において必須のプロセスです。  本講座はプラズマの性質やプラズマ中で起こっている基本的な現象 (電離、解離、拡散、消滅) を解説するとともに、半導体微細加工において重要なパラメータとなる壁へのイオンや化学活性種のフラックス量がどのような過程で決定づけられているかを説明します。  また、半導体プロセスで用いられるさまざまなプラズマ源の特徴、反応性イオンエッチングにおいて表面で起こっている現象を説明するとともに、近年の動向である二周波重畳プラズマの必要性と課題についても触れていきます。

  1. プラズマとは
    1. 半導体プロセスにおけるプラズマの必要性
    2. 化学活性種の低温生成
    3. イオンの活用
  2. プラズマ中での荷電粒子のふるまい
    1. 電子のエネルギー分布
    2. 電界の遮蔽
    3. プラズマの振動とプラズマ周波数
  3. プラズマ中における粒子間衝突 (荷電粒子や化学活性種の生成)
    1. 衝突の種類
    2. 衝突断面積
    3. 平均値としての衝突頻度
    4. 原子・分子のもつ内部エネルギー
  4. プラズマと壁 (荷電粒子や化学活性種の消失)
    1. 荷電粒子の損失
      • シースの形成とボーム速度
      • 壁への損失フラックス
    2. 化学活性種の損失
      • 壁へのランダムフラックス
      • 表面損失の確率
  5. プラズマの生成と損失のバランス
    1. 荷電粒子の生成と消滅のバランス
    2. 化学活性種の生成と消滅のバランス
    3. エネルギーのバランス
  6. プラズマの作り方
    1. 容量結合型プラズマ
    2. 誘導結合型プラズマ
    3. マイクロ波プラズマ
  7. 反応性イオンエッチング
    1. 反応性イオンエッチング (RIE) とは
    2. RIE表面において起こっている現象
    3. 選択性の発現
    4. イオンの入射角度分布と高エネルギーイオン入射の必要性
  8. 容量結合型プラズマによるエッチングプロセス
    1. 容量結合型プラズマの長所と短所
    2. プロセススループット向上のためのプラズマの高密度化
    3. 容量結合型プラズマにおける自己バイアス発生とイオンのエネルギー分布形成
    4. なぜ二周波重畳プラズマなのか
    5. 粒子の滞在時間と真空装置の高排気速度化の重要性
    6. 電源高周波化にともなう課題

受講料

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