MEMSの基礎から応用、最新動向まで抑える入門講座 / MEMSの超微細化、3D構造化に向けたプロセス技術

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本セミナーでは、MEMSの概要、各プロセス技術、応用分野と動向について基礎から応用までを解説いたします。

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プログラム

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、マイクロマシンとも呼ばれ、微細な機械要素と電子回路等を複合し、センサ、アクチュエータ、バイオチップ等の様々な機能をもつマイクロ素子技術の総称です。 超小型で高機能の素子を基板上に一括作製することができ、急速に進歩して実用化が進んでいます。  本講演では、MEMSの概要、各プロセス技術、応用分野と動向などについて、馴染みのない方にもわかりやすく紹介します。

  1. MEMSの応用分野と基本プロセス
  2. 微細加工プロセスの解説
    • リソグラフィー
    • エッチング
  3. 薄膜堆積と応力制御、接合プロセスの解説
  4. MEMSの超微細化、3D構造化に向けたプロセス技術
  5. 封止技術、電気的な接続技術
  6. シリコンMEMS技術へのスマート素材薄膜の融合
    • 形状記憶
    • 磁歪合金等
  7. MEMS応用の最新動向の紹介

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