基礎からよくわかる原子間力顕微鏡 (AFM) 、その測定とデータ解析

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原子間力顕微鏡 (AFM) はさまざまな環境で容易にナノスケール分解能の表面構造解析や物性マッピングが可能なことから、今ではナノサイエンス/テクノロジーに欠かせない顕微技術となり、様々な分野で活用されています。一口に”AFM”と言っても様々な測定モードがあり、測定対象や測定環境により最適な測定モードが変わってきます。さらに、物性計測法にも様々な方法があるため、それぞれの動作原理と特徴を理解することで、はじめて目的に合った使い方ができるようになります。  本講では、はじめにAFMの動作原理とAFMを構成する要素技術について詳説し、次に、動作モードの違いと特徴と応用事例やAFM特有のデータ・画像解析方法について紹介します。また、様々な物性計測の原理と応用、さらにはAFMの高速化技術と応用、解析手法等について幅広く解説します。

  1. AFMの基礎
    1. 走査型プローブ顕微鏡とAFM
    2. AFMの動作原理と要素技術
      1. カンチレバー
      2. 探針
      3. 変位検出法
      4. PID制御
      5. スキャナー
      6. 除振動技術
    3. フォースカーブ
  2. イメージングモードの原理と応用
    1. コンタクトモード
    2. タッピングモード
    3. ノンコンタクトモード
    4. 最近の新しいイメージングモード
  3. AFMデータの実際と解析技術
    1. アーティファクトと対策
    2. よく使うデータ解析方法
    3. 画像解析技術
  4. AFMによる物性計測の基礎と応用
    1. 機械特性
      1. 位相イメージング
      2. 弾性率計測と解析方法
    2. 電気力計測
      1. 電流 (抵抗) 分布
      2. 電荷/電位分布
    3. 磁気計測
    4. 摩擦力計測
    5. その他の物性計測法
  5. AFMの高速化と応用
    1. 高速化の要素技術
    2. 一分子動態計測への応用
    3. 高速AFMデータの解析手法
    4. 高速AFMの機能拡張

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