洗浄のメカニズム、不良対策と評価、管理法

本セミナーでは知識だけでなく、なぜそうなるのかという洗浄のメカニズムを理解いただくことに注力しております。洗浄の現場で出会う現象に対応し、高品質洗浄を達成するには大変重要になります。まず洗浄の基礎では、それぞれの洗浄方法の持つ特徴をベースに、装置や設備を考慮しながら洗浄方法を選択する方法を紹介していきます。次に湿式洗浄メカニズムの基本構成や、Excelを使っての洗浄シミュレーション、それらで使用する各種データの取得方法を詳しく説明します。またハンセン溶解度パラメーターを活用した具体的な洗浄液の選定や調整方法についても述べます。さらに湿式洗浄に必要な超音波等の機械力の洗浄メカニズムと使用方法、注意点を説明いたします。続いて、乾式洗浄や (乾式+湿式) 洗浄のメカニズムと利用方法を説明します。また実際にあった洗浄不良と対策例を示しながら、不良発生時の推奨対応行動と陥りがちな良くない対応行動を説明します。 　洗浄不良は後工程でわかる場合も多いので注意が必要です。洗浄メカニズムに沿った最適洗浄工程であっても量産では日々の変動を管理する必要があります。洗浄液だけでなく装置や純水など見落としがちな点を説明します。

1. 洗浄の基礎
   1. 洗浄は必要か
   2. 汚れの種類と洗浄工程
   3. 洗浄方法選定のポイント
   4. 湿式洗浄液の例
2. 湿式洗浄の除去メカニズム
   1. 5つの基本工程と3つの除去メカニズム
      1. 濡れ
      2. 除去
         • 剥離、エッチング
         • 溶解
         • 分解
      3. 分散、再付着防止
      4. 排出 (リンス)
      5. 乾燥
   2. 水系洗浄
      1. 洗浄剤について
         • 界面活性剤と酸、アルカリの働き
         • DLVO理論応用による汚れ剥離と再付着防止
         • 電位-pH図応用によるエッチング
      2. 排出 (リンス)
         • PIV応用による排出効率向上
      3. 乾燥、除電
   3. 準水系洗浄、非水系洗浄、エマルジョン洗浄
      1. 洗浄剤について
         • ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
      2. 排出 (リンス)
      3. 乾燥、除電
   4. 洗浄液選定方法の例
   5. 機能水洗浄
      1. ガス溶解水洗浄
         • RCA洗浄の代替
      2. 電解水洗浄
3. 湿式洗浄装置、治具
   1. 超音波 (メガソニック)
      1. 超音波洗浄メカニズム
      2. 異物大きさと周波数の目安
      3. 超音波洗浄の改善
   2. その他の機械力印加洗浄
      1. スクラブ
      2. ジェットスプレー
      3. 二流体シャワー
   3. 治具
      1. 治具の種類
      2. 使用時の注意点
4. 乾式洗浄の除去メカニズム
   1. プラズマ洗浄
   2. UV洗浄、オゾン洗浄
   3. レーザー洗浄
   4. アイス洗浄、ドライアイス洗浄、エアロゾル洗浄
   5. コロナ、光による除電
5. (乾式+湿式) 洗浄の除去メカニズム
   1. アッシング → 熱硫酸洗浄
   2. UV → オゾン水洗浄
   3. オゾンガス → 水洗浄
6. 洗浄不良と対策
   1. 洗浄液選定起因の不良
   2. 洗浄液管理起因の不良
   3. 同一洗浄槽での異材質混合流動起因の不良
   4. 純水起因の不良
   5. 乾式洗浄での再デポ起因の不良
   6. その他の不良例
   7. 不良原因確認と対応方法
      1. 陥りがちな悪い対応例
      2. 良い対応例
7. 高品質洗浄への応用 〜 湿式洗浄メカニズムの実洗浄への応用〜
   1. 5つの基本工程の評価と改善
      • 濡れ
      • 除去
      • 分散
      • 排出
      • 乾燥
   2. 超音波洗浄の改善
   3. 特殊形状の製品の洗浄
   4. 洗浄コスト削減のために
8. 洗浄工程の管理
   1. 管理のポイント
   2. 洗浄液や純水の管理
   3. 装置の管理
   4. 日々の記録、解析
• 質疑応答