日時
- 2023年7月21日 10時30分〜 2023年7月21日 16時30分
開催予定
プログラム
水の流れを一つの軸にすると、半導体洗浄が直感でわかるようになってきます。それを目指して、基礎現象の理解から困った時の対策までの考え方を1日で説明します。 半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを考え、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうすることなのかが感じ取れます。ここでは、身近な流れの動画を見て感覚をつかみ、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れを可視化観察動画と計算例で理解します。超音波の効果についても流れと気泡の動画を見るとイメージが湧きます。 最後には、足元をすくわれた時の視点と対策を紹介して締め括ります。最近のこととしては、半導体電子回路の微細化が進むことに伴って取り入れるべき視点についても考えてみます。工学の初歩から応用のつながりまで説明しますので、半導体以外の洗浄や洗浄以外のプロセス技術者にも参考になります。
- 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?
- 一般の洗浄
- 洗浄の4要素
- 温度
- 時間
- 化学
- 力学
- 洗浄の4要素
- 半導体の洗浄に特有のこと (何故、そこまでして洗うのか)
- 先端技術情報 (半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)
- 半導体洗浄の基礎現象 (薬液と流れの効果)
- 表面の現象とプロセス
- 付着
- 脱離
- 引き剥がす
- 乾かす
- 流れ、熱、拡散、反応 (洗う=汚れを動かす操作)
- 装置内流れの種類
- 完全混合
- 押出流れ
- 境界層
- 流れの可視化観察 (「流れ」と「拡散」の感覚を動画で)
- 表面の現象とプロセス
- 洗浄機内の流れと反応
- 枚葉式洗浄機
- 水の流れの実例 (観察動画と計算例)
- 化学反応の例 (表面反応もここまで分かる)
- バッチ式洗浄機
- 水の流れの実例 (観察動画と計算例)
- 水流を最適化した事例 (入口と出口を変える)
- 超音波の働き
- 水と気泡の動きの実例 (観察動画)
- 枚葉式洗浄機
- 洗浄結果の評価方法
- まとめ:困った時の視点と対策 (境界層を壊そう!)
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 複数名: 25,000円(税別) / 27,500円(税込)
案内割引・複数名同時申込割引について
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
- R&D支援センターからの案内を希望する方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
- R&D支援センターからの案内を希望しない方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
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- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
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