真空システムの設計、運転、保守とトラブル対策

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本セミナーでは、真空の基礎を学ぶとともに、具体的なトラブルや失敗の原因および対策について解説いたします。

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プログラム

本講座では、真空システムの設計・製造・運転および保守を行う上で、何に気を付けるとトラブルと失敗を避け、無駄なくそのシステムの性能を発揮できるようになるか、その背景にある真空の基礎物理を学び、トラブルと失敗の症状、原因、および対策を解説する。

  1. 基礎の無理解とブラックボックス化がトラブルと事故を起こす!
    1. 基礎の無理解が引き起こした真空作業の大事故例
  2. 無駄なトラブルと事故を避けるため、2時間で学ぶ真空物理の基礎のキ!
    1. 気体分子運動論と気体の性質
    2. 気体の流れと真空排気
    3. 真空排気の理想と現実
    4. 高速真空排気を邪魔する厄介物は何?
    5. ぜひ覚えてほしいガス放出速度とは
  3. 真空材料の選定と加工・表面処理法
    1. 真空材料とその特性
    2. 材料特性を無視した材料選び (使用して後悔する材料)
    3. デタラメな機械加工や接合にダマされるな
    4. 理想の真空表面に近付くための表面処理の3ポイント
    5. 低真空用でも無視できない表面処理・表面改質
    6. 低真空用でもベーキング・プリベーキングはご利益あり
  4. 真空機器構成部品
    1. 各種真空ポンプの原理と特徴
    2. 各種真空計と残留ガス質量分析計の原理と特徴
    3. その他の真空システムアクセサリー
  5. 真空システムの設計・製造・運転・保守におけるトラブル事例と解決法
    1. 真空容器・部品の設計上、絶対やってはいけない擬似リーク
    2. 排気ポンプと真空計の選択ミスは恐い
    3. 折角のポンプ排気速度が無駄に
    4. 排気系のオイルフリーとリューブリカントフリーは違う! その落とし穴
    5. ケチってはいけない真空システムアクセサリー
    6. 後の祭りに成り易い 周辺機器・設備
    7. その操作ではせっかくの真空システムが汚れてしまう! 正しい排気系の起動法
    8. 排気系以外にも大いに気配りを 真空装置の正しい扱い方のあれこれ
    9. 大気開放時に大気をそのまま導入ならば反SDGs!
  6. まとめ

受講料

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アカデミック割引

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