スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング

スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な技術で、近年はさらに用途が拡大しています。しかし、量産技術をどのように確立し、品質をどのように改善するのかについてのノウハウはあまり知られていません。 　本講座では、スパッタリング薄膜の原理・メカニズムを解説し、品質向上や密着性改善などの実務課題への対応方法を具体的に解説します。実務上の問題についてのご質問もその場で回答します。スパッタリングの基礎を学びたい方はもちろん、実務エキスパートとして活躍されている方にも大変お勧めです。

1. スパッタリング法の基礎 (基礎編)
   1. 薄膜技術の基本を知る
   2. スパッタリング法の特徴とその用途
   3. スパッタリング装置の構成
   4. スパッタリング工程の運用と管理方法
2. スパッタリング法の物理現象
   1. 物理現象を把握することの重要性について
   2. スパッタリングの物理現象1 (プラズマ放電)
   3. スパッタリングの物理現象2 (スパッタリング)
   4. スパッタリングの物理現象3 (組織形成)
   5. スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
3. スパッタリング薄膜の評価・分析技術
   1. スパッタリング薄膜に求められる性能とは
   2. あらゆる機能の基礎となる、膜厚・形状の測定
   3. 薄膜の性能を知るための、各種特性の測定・評価
   4. 特性の発現機構を明らかにする、結晶構造評価
   5. 不具合現象開明のための元素・状態分析
   6. 信頼性評価のための機械的性質・密着性評価
4. スパッタリング薄膜の特性安定化 (応用編)
   1. 特性実現と特性安定化という2つの課題
   2. 特性とパラメータの間にあるものを理解する
   3. プロセスのばらつき・変動要因を理解する
   4. プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
   5. スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント
5. スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善
   1. 薄膜の密着と剥離のメカニズム
   2. 解析〜原因追究の手順
   3. 密着性改善・安定化のための具体的な手法
   4. 薄膜の信頼性の問題と対策
6. スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
   1. スパッタリング薄膜の欠陥モード
   2. スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
   3. ピンホール・付着異物の原因究明と対策
   4. 変色・しわ・しみの原因究明と対策