本セミナーでは、振動発電について取り上げ、材料開発から素子作製技術、応用事例まで最新動向を詳解いたします。
日時
- 2023年3月10日 13時00分〜 2023年3月10日 17時00分
中止
プログラム
圧電薄膜を用いたMEMS技術について、その特徴と実用化に向けた現在の開発状況、また圧電薄膜およびその評価技術に関する基礎について解説する。 圧電材料の有する優れた電気機械変換効果は、マイクロデバイス化することによりその特徴を更に引き出すことができる。現在はシンプルな構成のデバイスが実用においても主流となっているが、今後従来のMEMSで蓄積された微細構造と融合することによって新しい技術展開が期待される。 本講義では圧電薄膜材料に加え、応用デバイスの基礎となるユニモルフ構造について取り上げ、設計の基礎となる力学的特徴について説明する。
- 圧電MEMS技術の概要
- MEMS技術とその応用
- PZT圧電薄膜を用いた応用デバイス
- 圧電MEMSの要素技術
- 圧電材料とその特徴
- 薄膜化プロセス
- 薄膜材料の圧電特性評価
- ユニモルフカンチレバーの力学
- まとめ
受講料
- 1名様: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 複数名: 22,500円(税別) / 24,750円(税込)
案内割引・複数名同時申込割引について
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- R&D支援センターからの案内を希望する方
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- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
ライブ配信セミナーについて
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