洗浄技術と洗浄プロセス最適化の総合知識

本セミナーでは洗浄の基礎、各種洗浄方法の概要、洗浄不良への対応、理論を用いた高品質洗浄への応用、工程管理について幅広く説明いたします。洗浄全体を理解いただくとともに、品質向上・コスト低減活動の一助になればと思っております。 　まず洗浄の基礎では、それぞれの洗浄方法の持つ特徴をベースに、装置や設備を考慮しながらトータルで洗浄の基本構成を決める方法を紹介していきます。次に各種洗浄の概要では、湿式洗浄、乾式洗浄等について洗浄メカニズムに触れながら説明いたします。洗浄不良への対応では、個別の対策例や陥りがちな良くない行動例を含めながら、対応方法の基本を説明します。洗浄不良は前工程の影響である場合や後工程でわかる場合もあるので注意が必要です。高品質洗浄への応用では、湿式洗浄メカニズムの実洗浄への応用を目的とし、洗浄理論で使用する各種データーの取得方法やエクセルを使っての洗浄シミュレーション等を紹介します。現在の貴社工程の良否判断にも使えると考えます。しかし基本が確立されている洗浄工程でも量産では変動要素があるため日々の管理が必要になります。最後に工程管理項目や記録のポイント等の注意点を紹介します。

1. 洗浄の基礎
   1. 洗浄は必要か
   2. 汚れの種類と洗浄工程
   3. 洗浄方法選定のポイント
   4. 湿式洗浄液の例
2. 湿式洗浄の除去メカニズム
   1. 5つの基本工程と3つの除去メカニズム
      1. 濡れ
      2. 除去
         • 剥離、エッチング
         • 溶解
         • 分解
      3. 分散、再付着防止
      4. 排出 (リンス)
      5. 乾燥
   2. 水系洗浄
      1. 洗浄剤について
         • 界面活性剤と酸、アルカリの働き
         • DLVO理論応用による汚れ剥離と再付着防止
         • 電位 – pH図 応用によるエッチング
      2. 排出 (リンス)
         • PIV応用による排出効率向上
      3. 乾燥、除電
   3. 準水系洗浄、非水系洗浄、エマルジョン洗浄
      1. 洗浄剤について
         • ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
      2. 排出 (リンス)
      3. 乾燥、除電
   4. 洗浄液選定方法の例
   5. 機能水洗浄
      1. ガス溶解水洗浄
         • RCA洗浄の代替
      2. 電解水洗浄
3. 湿式洗浄装置、治具
   1. 超音波 (メガソニック)
      1. 超音波洗浄メカニズム
      2. 異物大きさと周波数の目安
      3. 超音波洗浄の改善
   2. その他の機械力印加洗浄
      1. スクラブ洗浄
      2. ジェットスプレー洗浄
      3. 二流体シャワー洗浄
   3. 治具
      1. 治具の種類
      2. 使用時の注意点
4. 乾式洗浄の除去メカニズム
   1. プラズマ洗浄
   2. UV洗浄、オゾン洗浄
   3. レーザー洗浄
   4. アイス洗浄、ドライアイス洗浄、エアロゾル洗浄
   5. コロナ、光による除電
5. (乾式+湿式) 洗浄の除去メカニズム
   1. アッシング → 熱硫酸洗浄
   2. UV → オゾン水洗浄
   3. オゾンガス → 水洗浄
6. 洗浄不良と対策
   1. 洗浄液選定起因の不良
   2. 洗浄液管理起因の不良
   3. 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
   4. 純水起因の不良
   5. 乾式洗浄での再デポ起因の不良
   6. その他の不良対策方法
   7. 不良原因確認と対応方法
      1. 陥りがちな悪い対応例
      2. 良い対応例
7. 高品質洗浄への取り組み
   1. 5つの基本工程の評価と改善
      • 濡れ
      • 除去
      • 分散
      • 排出
      • 乾燥
   2. 超音波洗浄の改善
   3. 特殊形状の製品の洗浄
   4. 洗浄コスト削減のために
8. 洗浄工程の管理
   1. 管理のポイント
   2. 洗浄液や純水の管理
   3. 装置の管理
   4. 日々の記録・解析
• 質疑応答