スパッタリングによる薄膜形成と膜質の改善、トラブル対策

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プログラム

スパッタ膜に関して、製造現場や開発現場で日々要求される改善、トラブル対策に直接役立つように、できるだけ詳細に具体的に解説します。そのための、実務に役立つように、関連した基礎知識をわかりやすく解説します。また、参加者が現在抱えている課題などに対しても、丁寧に解説したいと思います。

  1. スパッタリングの基礎知識
    1. スパッタの原理
    2. 蒸着とスパッタの違い (各成膜ファクター詳細比較)
    3. 平均自由行程
    4. 密着性・・・ 内部応力、評価
  2. スパッタリングの重要要素技術
    1. パルス電源
    2. マグネトロン技術
    3. 高速成膜技術
    4. ロータリーカソード
    5. トピックス
      • HIPIMS
      • シミュレーション
      • ガスフロースパッタ
  3. スパッタリング応用編
    1. スパッタ応用製品例
    2. スパッタに関する改善、対策例
      1. ターゲット利用率を上げるには?
      2. アーキングを減らすには?
      3. アノード消失を防ぐには?
      4. コストを下げるには?
      5. 密着性を上げるには?
      6. 緻密な膜を作るには?
  4. 参加者からの質疑応答

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