初心者のための半導体デバイス入門講座

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本セミナーでは、半導体の基礎をはじめ、集積回路の最も基本となるMOSトランジスタの構造から動作原理、微細化と作製方法などを学び、現在・未来の集積化の動向まで分かりやすく解説いたします。

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プログラム

半導体産業は、近年IT機器を支える産業のコメからAI/デジタル社会の牽引役へ、更に経済安全保障の中核技術として発展し、その重要性がますます高まっている。ここで、半導体集積回路の最も基本となるデバイスはMOSトランジスタであり、この素子の発展と進化の道筋を追うことで、現在また将来の集積回路の方向性を理解することができる。  本セミナーでは、材料としての半導体の基礎から始め、MOSトランジスタの構造と動作原理、論理回路としての使い方、作製方法の基礎、技術課題とそれを克服するテクノロジー、将来の技術発展の道筋を解説すると共に、最新の研究開発状況についても可能な範囲で触れる。

  1. 半導体産業の重要性
  2. 半導体の基礎
    1. 半導体のバンド構造
    2. 半導体中の電気伝導と移動度
    3. n型半導体、p型半導体
    4. pn接合と空乏層
  3. MOSトランジスタの動作原理
    1. MOS構造のバンド図
    2. MOSトランジスタの動作原理
    3. nチャネルMOSFETとpチャネルMOSFET
    4. インバータとCMOS構造
  4. MOSトランジスタによる論理計算
  5. MOSトランジスタの微細化とムーアの法則
  6. MOSトランジスタの作製方法
  7. MOSトランジスタ微細化の制限要因と改良技術
    1. ゲート絶縁膜の薄膜化限界とhigh k絶縁膜
    2. 短チャネル効果と立体構造トランジスタ
  8. MOSトランジスタ高集積化の現状と今後の動向
    1. テクノロジーノードとロードマップ
    2. 三次元集積化

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