圧電薄膜の成膜、評価技術とMEMS応用

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本セミナーでは、振動発電について取り上げ、材料開発から素子作製技術、応用事例まで最新動向を詳解いたします。

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PZT薄膜を中心とした圧電薄膜のMEMSデバイス応用の研究開発が活発化している。圧電MEMSの特徴的な基本技術は、圧電薄膜材料、薄膜化、および圧電評価技術である。  本講演では、これらの技術について解説するとともに、将来のデバイス開発を目的とした研究例を紹介する。

  1. 圧電MEMSの特徴および応用例
    1. MEMS技術の中における圧電MEMS
    2. 圧電MEMSデバイスの応用例
  2. 圧電薄膜材料とその成膜技術
    1. 圧電材料
    2. PZT材料
    3. 非鉛圧電材料
    4. 薄膜化技術
    5. スパッタ法
    6. ゾルゲル法
  3. 圧電薄膜の評価技術
    1. 結晶構造評価
    2. 誘電特性・強誘電特性
    3. 信頼性評価
    4. 圧電定数の定義
    5. 圧電特性測定技術
    6. ユニモルフ構造の力学
    7. 逆圧電定数および正圧電定数の測定
  4. 最近の研究動向
  5. まとめ

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