EUVリソグラフィの発展・課題とレジスト材料・技術の研究・開発動向

第1部 EUVリソグラフィの要素技術・課題と今後の展望

(2022年12月7日 10:30〜12:00)

　2017年EUV光源パワーが250Wを達成したことにより、2019年の7nmノードからの本格的な量産が開始された。現在5nmノードまで進展し、Critical layer数層から10数層へと加工領域が広がっており、Smart phone等のMobile機器で身近に微細化の恩恵に預かっている。TSMCの5nmノードからはDouble Patterningの導入、2025年にはNA0.55のHigh NA機が登場し、さらなる微細化が顕著となり、マスク吸収体材料、Stochastic Errorに対応したレジスト材料、ペリクルなど新しい材料開発が進められている。本講演では現状と今後の課題を簡潔にお話したい。

1. EUVリソグラフィー開発小史
2. EUVリソグラフィーの要素技術と課題
3. 今後のDevice加工の推移とEUVLの役割
4. 半導体開発の地政学
5. 今後の開発課題
   1. マスク吸収体厚の低減と微細化
   2. 多層膜の寿命拡大への試み
   3. Pellicle膜の開発
   4. その他
6. 高NA機の概要と現状
7. まとめ
• 質疑応答

第2部 EUVレジストの課題と開発動向

(2022年12月7日 13:00〜14:30)

　電子デバイスのさらなる高速化・大容量化・省電力化に不可欠なEUVレジストは、長い年月を経て2019年に量産適用に至った。しかしながら、期待されるEUVレジストの性能には遠く課題山積である。EUVレジストの課題と開発動向に関し解説する。

1. 私たちの世の中を取り巻く環境の変化
2. EUVリソグラフィの必要性
3. EUVリソグラフィの歴史
4. EUVリソグラフィ実現のための国家プロジェクトEIDECでの検討
   1. アウトガス問題の解決と世界アライン
   2. メタルレジストの開発
5. EUVレジストの課題、最新動向、技術開発の紹介
   1. ストカスティック (確率論的) 因子低減と量産適用に対する開発
   2. ストカスティックの分析、Photon StochasticとChemical Stochasticの解説
   3. Photon StochasticとChemical Stochastic低減のためのアプローチ
• 質疑応答

第3部 放射線化学に基いたメタル含有レジストの研究

(2022年12月7日 14:45〜16:15)

　EUVリソグラフィにおいて、次世代サブ10 nmHP用 (オングストロームノード用) として期待されるメタル含有レジストの反応機構と課題について解説します。

1. レジストとは
2. 次世代レジストの課題
3. レジストの像形成機構
4. なぜ、メタルが必要か
5. 光吸収と光電子放出
6. 二次電子と減速過程と熱化
7. 熱化電子の還元作用
8. 放射線化学反応
9. 溶解度変化のメカニズム
10. 課題
11. まとめ
• 質疑応答