クリーンルームにおけるゴミ・異物の見える化と静電気対策

「クリーンルームは管理無ければ只の箱」と言われます。その管理の基本『クリーン化の四原則』を明確にし、対象となるエリア「加工点」「保管場所」「搬送系」の3点を対象に、清掃を含めて、いかに効率的にかつ効果的な管理を行うのかを、いくつかあるクリーンルームの形態毎に、不良につながる可能性状態を動画や写真でご紹介し、効果的な管理につながる手法を明らかにして行きます。

• 「クリーンルーム環境で製造をしていても、異物不良が発生して困っています。」
• 「クリーン度の数値は規格内にあり問題ないのに、異物不良が多発して悩んでいます。」

　こうした声を多く聞く様になりました。これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。また、パーティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。5~10~100μmと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法・数値管理方法を述べて参ります。 　また、ゴミ・異物管理~対策において避けて通れない「静電気」にも目を向けて管理手法・対策手法を明らかにして参ります。 　現場に戻り即、役立つ情報・技術・管理手法等を分かり易くご説明致します。ご質問や疑問点があるときは、質疑応答時間若しくは終了後メールにてお寄せください。多くのご質問をお待ちしております。一緒に考えて解決して行きましょう。

1. 『ゴミ・異物不良の本質』を知るとは…
   1. ゴミ・異物不良は永遠の課題?
   2. 何故?ゴミ・異物不良は、『難題』になるのか。
   3. 本質を知る必要性とは…
   4. ゴミ・異物とは何か。どんなものか。
   5. ゴミ・異物は、どこから来るのか。
   6. 自分 (達) が関与する製品が、不良となる異物とは…
   7. 生産工程における異物の挙動・振る舞い
   8. 物質による挙動の違い
   9. 現場は、異物だらけ。
   10. 感性を磨く必要性
   11. ゴミ・異物の事例/ゴミ・異物不良の事例:写真
   12. 見える化の必要性
   13. 見える化の仕組みとは
   14. 見える化機器のご紹介
   15. まとめ
2. クリーンルームの清掃と見える化機器の活用管理
   1. クリーン化における清掃は技術として捉えよう
   2. この差ってなんですか?:掃除と清掃の違いって分かりますか。
   3. クリーンルームの清掃の目的と意義
   4. 「3つ」の管理POINTと標準化:いつ?誰が?どうやって?
   5. 生産環境における清浄化対象箇所
   6. 清掃はいつやるのが良いのか? 始業時?終業時?昼休み前後?
   7. クリーン化の四原則における清掃の位置付け:除去/排除する
   8. クリーンルームの占有状態と言う捉え
   9. 清浄化の重点箇所と留意点:加工点/保管場所/搬送系
   10. 「見える化機器」の活用法
   11. なぜ、見える化が必要なのか
   12. 気流の可視化も重要。:浮遊異物は気流によって運ばれる。
   13. クリーンルームの清掃方法
       1. 清掃作業員の適正化も大切
       2. 清掃方法の分類と方法:その1 日常/定期/特別と言う捉え
       3. 清掃方法の分類と方法:その2 簡易/普通/精密と言う捉え
       4. 清掃方法に関する留意事項:清掃し易い環境をつくる etc
       5. 清掃の手順はどうするのか。
       6. 清掃資材の汚れ状態も確認しよう
       7. 清掃用具類のあり方
       8. 清掃方法の効果と比較
       9. 静電気による粒子付着に対する清掃POINT
       10. 粘着マットの剥がし方にも注意を! 等
3. 防塵衣の管理と身近な発塵源と発塵対策
   1. なぜ、防塵衣を着るのでしょうか。
   2. 防塵衣の適正化に取組む各メーカー
   3. 人間の動作と発塵量
   4. クリーンルーム内のゴミ・異物の割合は?
   5. 皮膚からの発塵の抑制の考え方
   6. 防塵衣に求められる性能
   7. 織り込み導電繊維の効果って知ってますか。
   8. 防塵衣の性能を発揮するには?
   9. 防塵衣着用時の発塵機構を知ろう。
   10. 動作発塵評価 3事例ご紹介
   11. ポンピング発塵データご紹介
   12. 評価環境と機器類とは
   13. 防塵衣クリーニングのあり方:専用クリーニング
   14. 身近な発塵源と発塵対策:粗大粒子の捉え
       1. 身近な発塵源の状況可視化:動画でご紹介
       2. クリーンルーム内で使用する資材の評価と評価方法/データ
       3. 粗大粒子と言う捉え
       4. クリーンルームの中には、5μm以上の異物はないのでしょうか。
       5. 自工程で不良につながる異物粒径を知ろう
       6. 粗大粒子による影響が大きい
       7. 粗大粒子が原因となった不良事例 3点
       8. JISによる粒子の分類と定義
       9. 微粒子と粗大粒子の挙動/振る舞いの違い
       10. 気中パーティクルカウンターの特性
       11. パーティクルカウンターの吸引量による違いを知ろう
       12. ゴミ・異物の大きさと挙動の認識 (鉄1kgと綿1kgどっちが重い?)
       13. 粗大粒子対策は換気回数を上げても、減少しない。
       14. 粗大粒子は見える化出来る!
       15. 粗大粒子の見える化から数値化/数値管理法
       16. ISO-14644シリーズ
       17. ISO-14644-9 表面清浄度規格:SCP規格
       18. ISO準拠 粗大粒子測定器:落下塵カウンターの概要 等
4. クリーン化・異物対策における静電気対策
   1. なぜ、クリーン化において、なぜ静電気に注力しなければいけないのか?
   2. 電気とは… (動電気/静電気)
   3. 静電気の基本 (静電気の発生と静電気要因不良)
   4. 静電気対策方法:考え方
   5. イオナイザーの種類と特性:選択ミスは不良につながる。
   6. 除電のメカニズム
   7. イオナイザー使用時の注意点
   8. 作業環境 (湿度) と静電気の発生
   9. 静電気対策は、費用が掛かる?
   10. 静電気対策事例:良い事例/悪い事例:対策方法事例紹介
   11. 後戻りしない対策のあり方 :まとめ
• 質疑応答