Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
- 第1部 薄膜作製の基礎
- 薄膜作製入門
- 薄膜の種類と用途
- 代表的な半導体デバイスにおける薄膜の用途と作製方法
- ウェットプロセスとドライプロセス
- PVDとCVD、ALD
- 真空の基礎知識
- 真空度とは
- 平均自由行程とクヌッセン数
- 真空の質と真空ポンプ、真空計
- PVDプロセス
- 真空蒸着の基礎
- スパッタリング
- 第2部 ALD/CVDプロセスの反応機構と速度論
- ALDの基礎としてのCVDプロセス入門
- CVDプロセスの素過程
- CVDプロセスの速度論
- 製膜速度の温度依存性 – 表面反応律速と拡散律速
- 製膜速度の濃度依存性 – 1次反応とラングミュア・ヒンシェルウッド型反応
- CVDプロセスの均一性
- 表面・気相の反応機構解析入門
- 素反応機構と総括反応機構
- 気相反応の第一原理計算と精度
- 表面反応機構の量子化学的検討と実験的解析
- 第3部 ALDプロセスの基礎と展開
- ALDプロセスの基礎
- ALDプロセスの基礎理論と製膜特性
- ALDプロセスの理想と現実
- ALDプロセスの温度依存性
- ALDプロセスの均一性
- ALDプロセスの量産性
- ALDプロセスの応用と展開
- ALDプロセスの応用用途
- ALDプロセスの解析手法と最適化
- Quartz Crystal Microbalance (QCM) によるその場観察と最適化
- 製膜遅れ時間 (Incubation Time) の観測と最適化
- 新しいALD技術
- プラズマALD、プラズマALE、ホットワイヤーALD
- Spatial ALD
- ALD国際会議について
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,200円(税別) / 37,620円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
- 他の割引は併用できません。
- サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
- 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。